即便環(huán)境中存在水汽,水汽在侵入時(shí)也會(huì)聚集在防水凹槽,不會(huì)進(jìn)入到肖特基結(jié),確保肖特基二極管不會(huì)失效。附圖說明為了更清楚地說明本申請(qǐng)實(shí)施例的技術(shù)方案,下面將對(duì)實(shí)施例中所需要使用的附圖作簡單地介紹,應(yīng)當(dāng)理解,以下附圖示出了本申請(qǐng)的某些實(shí)施例,因此不應(yīng)被看作是對(duì)范圍的限定,對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講,在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下,還可以根據(jù)這些附圖獲得其他相關(guān)的附圖。圖1為本申請(qǐng)實(shí)施例提供的一種肖特基二極管的結(jié)構(gòu)示意圖之一;圖2為本申請(qǐng)實(shí)施例提供的一種肖特基二極管的結(jié)構(gòu)示意圖之二;圖3為本申請(qǐng)實(shí)施例提供的制造圖1中肖特基二極管的方法流程示意圖;圖4a-圖4f為本申請(qǐng)實(shí)施例提供的制造圖1中肖特基二極管的制造工藝示意圖;具體實(shí)施方式下面將結(jié)合本申請(qǐng)實(shí)施例中的附圖,對(duì)本申請(qǐng)實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述。顯然,所描述的實(shí)施例是本申請(qǐng)的一部分實(shí)施例,而不是全部的實(shí)施例。通常在此處附圖中描述和示出的本申請(qǐng)實(shí)施例的組件可以以各種不同的配置來布置和設(shè)計(jì)。以下對(duì)在附圖中提供的本申請(qǐng)的實(shí)施例的詳細(xì)描述并非旨在限制要求保護(hù)的本申請(qǐng)的范圍,而是表示本申請(qǐng)的選定實(shí)施例。基于本申請(qǐng)的實(shí)施例。上海藤谷電子科技有限公司為您提供二極管,有想法的可以來電咨詢!安徽智能二極管價(jià)格便宜
鍺管Is=30~300μA。比較高工作頻率Fm:指二極管能保持良好工作特性的比較高工作頻率。不同用途的二極管差異01整流二極管大部分二極管所具備的電流方向性我們通常稱之為“整流(Rectifying)”功能,將交流電能轉(zhuǎn)變?yōu)橹绷麟娔?。面接觸結(jié)構(gòu),多采用硅材料,能承受較大的正向電流和較高的反向電壓。性能較穩(wěn)定,但因結(jié)電容較大,不宜工作在高頻電路中,所以不能作為檢波管使用。有金屬和塑料封裝。02檢波二極管檢波二極管是用于把疊加在高頻載波上的低頻信號(hào)檢出來的器件,它具有較高的檢波效率和良好的頻率特性。鍺材料點(diǎn)接觸型、工作頻率可達(dá)400MHz,正向壓降小,結(jié)電容小,檢波效率高,頻率特性好,為2AP型。類似點(diǎn)觸型那樣檢波用的二極管,除用于檢波外,還能夠用于限幅、削波、調(diào)制、混頻、開關(guān)等電路。也有為調(diào)頻檢波的特性一致性好的兩只二極管組合件。多采用玻璃封裝或陶瓷外殼封裝,以獲得良好的高頻特性。03開關(guān)二極管開關(guān)二極管是半導(dǎo)體二極管的一種,是為在電路上進(jìn)行“開”、“關(guān)”而特殊設(shè)計(jì)制造的一類二極管。它由導(dǎo)通變?yōu)榻刂够蛴山刂棺優(yōu)閷?dǎo)通所需的時(shí)間比一般二極管短。開關(guān)二極管的勢(shì)壘電容一般極小,這就相當(dāng)于堵住了勢(shì)壘電容這條路。浙江標(biāo)準(zhǔn)二極管咨詢報(bào)價(jià)上海藤谷電子科技有限公司是一家專業(yè)提供二極管的公司,有需求可以來電咨詢!
淀積的金屬和硅形成金屬硅化物,形成肖特基結(jié)108,再使用王水去除表面未發(fā)生反應(yīng)的多余金屬。步驟s305,請(qǐng)參照?qǐng)D4e,在肖特基結(jié)108及靠近肖特基結(jié)108的氧化層103上制作金屬層105,并在襯底101遠(yuǎn)離外延層102的一側(cè)制作第二金屬層106。在本申請(qǐng)實(shí)施例中,金屬層105覆蓋在肖特基結(jié)108及半導(dǎo)體環(huán)104上,并部分延伸至氧化層103。通常金屬層105和第二金屬層106可以采用tiniag、tiniau、tinial或tinialag等多層金屬。具體地,在制作金屬層105,在真空度為3e-6torr、溫度為190℃的環(huán)境下持續(xù)加熱45分鐘,依次在肖特基結(jié)108及靠近肖特基結(jié)108的氧化層103上沉積多層金屬,制作形成金屬層105。蒸發(fā)過程真空必須保持高真空狀態(tài),避免蒸發(fā)金屬過程中金屬被氧化,導(dǎo)致金屬間接觸不良。采用相同的工藝在襯底101遠(yuǎn)離外延層102的一側(cè)制作第二金屬層106。步驟s306,請(qǐng)參照?qǐng)D4f,在氧化層103遠(yuǎn)離肖特基結(jié)108的兩端進(jìn)行蝕刻形成防水槽1031。在氧化層103遠(yuǎn)離肖特基結(jié)108兩端的表面涂覆光刻膠層。通過帶有防水槽圖案的掩模對(duì)光刻膠層進(jìn)行光刻,在光刻膠層上刻出防水槽圖案。再接著,用腐蝕溶劑進(jìn)行腐蝕,將防水槽圖案轉(zhuǎn)移到氧化層103。,蝕刻防水槽圖案對(duì)應(yīng)區(qū)域的氧化層103,形成防水槽1031。
在每個(gè)周期內(nèi),終的輸出DC電壓和電流均為“ON”和“OFF”。由于負(fù)載電阻兩端的電壓在周期的正半部分(輸入波形的50%)出現(xiàn),因此導(dǎo)致向負(fù)載提供的平均DC值較低。整流后的輸出波形在“ON”和“OFF”狀態(tài)之間的變化會(huì)產(chǎn)生具有大量“波紋”的波形,這是不希望的特征。產(chǎn)生的直流紋波的頻率等于交流電源頻率。在對(duì)交流電壓進(jìn)行整流時(shí),我們希望產(chǎn)生無任何電壓變化或波動(dòng)的“穩(wěn)定”且連續(xù)的直流電壓。這樣做的一種方法是在輸出電壓端子上與負(fù)載電阻并聯(lián)連接一個(gè)大容量電容器,如下所示。這種類型的電容器通常被稱為“蓄水池”或“平滑電容器”。帶濾波電容器的半波整流器當(dāng)使用整流來從交流(AC)電源提供直流(DC)電源時(shí),可以通過使用更大容量的電容器來進(jìn)一步減少紋波電壓,但在成本和尺寸方面都存在限制使用的電容器。對(duì)于給定的電容器值,較大的負(fù)載電流(較小的負(fù)載電阻)將使電容器放電更快(RC時(shí)間常數(shù)),因此會(huì)增加獲得的紋波。然后,對(duì)于使用功率二極管的單相,半波整流器電路,嘗試通過電容器平滑來降低紋波電壓不是很實(shí)際。在這種情況下,改為使用“全波整流”會(huì)更實(shí)際。實(shí)際上,半波整流器由于其主要缺點(diǎn)而常用于低功率應(yīng)用中。輸出幅度小于輸入幅度。二極管,就選上海藤谷電子科技有限公司,讓您滿意,歡迎您的來電哦!
本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施例提供了一種整流電路,包括上述任一實(shí)施例所述的用于整流電路的肖特基二極管。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明的有益效果:本發(fā)明通過對(duì)肖特基二極管的材料進(jìn)行設(shè)計(jì),采用應(yīng)變ge層作為肖特基接觸的半導(dǎo)體層,通過對(duì)ge材料的能帶結(jié)構(gòu)進(jìn)行調(diào)制,使肖特基二極管具有更高的電子遷移率和能帶優(yōu)勢(shì),使用該肖特基二極管制備的整流電路具有更高的轉(zhuǎn)換效率;本發(fā)明在ge層上增加通過壓應(yīng)力層施加壓應(yīng)力,工藝簡單,且生成的應(yīng)變ge層不會(huì)因?yàn)榫Ц袷洚a(chǎn)生大量缺陷,因此得到的應(yīng)變ge層質(zhì)量更好,因此,肖特基二極管的器件性能也更優(yōu);本發(fā)明的肖特基二極管結(jié)構(gòu)簡單,無需設(shè)計(jì)復(fù)雜的二極管結(jié)構(gòu),元件的互連結(jié)構(gòu)簡單。附圖說明圖1為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種用于整流電路的肖特基二極管的結(jié)構(gòu)示意圖;圖2為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種用于整流電路的肖特基二極管的制備工藝的流程示意圖;圖3a~3h為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種用于整流電路的肖特基二極管的工藝示意圖。具體實(shí)施方式下面結(jié)合具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明做進(jìn)一步詳細(xì)的描述,但本發(fā)明的實(shí)施方式不限于此。實(shí)施例一請(qǐng)參見圖1,圖1為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種用于整流電路的肖特基二極管的結(jié)構(gòu)示意圖。上海藤谷電子科技有限公司二極管值得用戶放心。云南品質(zhì)二極管咨詢報(bào)價(jià)
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因氧化層開設(shè)有防水凹槽,即便環(huán)境中存在水汽,水汽在侵入時(shí)也會(huì)聚集在防水槽1031,不會(huì)進(jìn)入到肖特基結(jié),進(jìn)一步確保肖特基二極管不會(huì)失效。在本申請(qǐng)實(shí)施例的一種可能的實(shí)施方式中,襯底101和外延層102可以為n型半導(dǎo)體層,半導(dǎo)體環(huán)104可以為p型半導(dǎo)體環(huán)。在本申請(qǐng)實(shí)施例的另一種可能的實(shí)施方式中,襯底101和外延層102可以為p型半導(dǎo)體層,半導(dǎo)體環(huán)104可以為n型半導(dǎo)體環(huán)。在本申請(qǐng)實(shí)施例中,在襯底101和外延層102為n型半導(dǎo)體層,半導(dǎo)體環(huán)104為p型半導(dǎo)體環(huán)時(shí),襯底101可以為重?fù)诫s半導(dǎo)體層,襯底101的電阻率可以為ω·cm;外延層102可以為輕摻雜半導(dǎo)體層,外延層102的電阻率可以為ω·cm,其中,外延層102的厚度可以為5μm-30μm。防水槽1031可以是一種規(guī)則形狀的凹槽,也可以是不規(guī)則形狀的凹槽。例如圖1及圖2所示,防水槽1031可以是u型槽,也可以是v型槽,當(dāng)然還可以是其他形狀的凹槽或者不同形狀凹槽的組合。防水槽1031的深度小于氧化層103的厚度。在本申請(qǐng)實(shí)施例中,肖特基結(jié)108由多層金屬組成,具體地,該多層金屬可以包括ti、ni、ag等。請(qǐng)參照?qǐng)D3,本申請(qǐng)實(shí)施例還提供一種用于制造上述肖特基二極管10的制造方法,該制造方法包括以下步驟:步驟s301,請(qǐng)參照?qǐng)D4a。安徽智能二極管價(jià)格便宜
上海藤谷電子科技有限公司是一家有著先進(jìn)的發(fā)展理念,先進(jìn)的管理經(jīng)驗(yàn),在發(fā)展過程中不斷完善自己,要求自己,不斷創(chuàng)新,時(shí)刻準(zhǔn)備著迎接更多挑戰(zhàn)的活力公司,在上海市等地區(qū)的電子元器件中匯聚了大量的人脈以及**,在業(yè)界也收獲了很多良好的評(píng)價(jià),這些都源自于自身不努力和大家共同進(jìn)步的結(jié)果,這些評(píng)價(jià)對(duì)我們而言是比較好的前進(jìn)動(dòng)力,也促使我們?cè)谝院蟮牡缆飞媳3謯^發(fā)圖強(qiáng)、一往無前的進(jìn)取創(chuàng)新精神,努力把公司發(fā)展戰(zhàn)略推向一個(gè)新高度,在全體員工共同努力之下,全力拼搏將共同上海藤谷電子科技供應(yīng)和您一起攜手走向更好的未來,創(chuàng)造更有價(jià)值的產(chǎn)品,我們將以更好的狀態(tài),更認(rèn)真的態(tài)度,更飽滿的精力去創(chuàng)造,去拼搏,去努力,讓我們一起更好更快的成長!
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