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    本發(fā)明涉及搬運系統(tǒng)以及搬運方法。背景技術(shù)：在半導體制造工廠等制造工廠中，為了將收容半導體晶圓的foup或者收容中間掩模的中間掩模盒(reticlepod)等物品在處理裝置的裝載端口、保管部以及交接端口之間進行搬運，提出有使用沿著鋪設(shè)于頂棚的軌道行駛的高架搬運車、和沿著與高架搬運車的軌道地鋪設(shè)于地板面的軌道行駛的起重機的結(jié)構(gòu)(例如，參照文獻1)。文獻1:日本第5880693號公報文獻1中記載的高架搬運車和起重機均能夠訪問裝載端口、保管部以及交接端口，但由于在不同的軌道行駛，因此需要與高架搬運車和起重機對應地，分別設(shè)置頂棚的軌道和地板面的軌道。因此，存在不僅對軌道的設(shè)置花費成本，需要用于鋪設(shè)各軌道的空間，而且需要使處理裝置或者保管部等的設(shè)置位置與兩個軌道對應，因此對處理裝置等的布局產(chǎn)生限制的問題。技術(shù)實現(xiàn)要素：本發(fā)明的目的在于提供能夠通過將供高架搬運車和起重機行駛的軌道共用化而減少軌道的設(shè)置成本，并且分擔高架搬運車與起重機的作用，由此高效地搬運物品的搬運系統(tǒng)以及搬運方法。本發(fā)明所涉及的搬運系統(tǒng)具備：第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道，其從第1處理裝置的裝載端口的正上方錯開并且沿著第1處理裝置的裝載端口設(shè)置；第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道。江寧區(qū)粉塵真空搬運機推薦廠家！天寧區(qū)常見真空搬運機推薦廠家

    但本發(fā)明并不限定于上述的說明，在不脫離本發(fā)明的主旨的范圍內(nèi)能夠進行各種變更。例如，在上述的搬運系統(tǒng)100中，也可以在高架搬運車50的移動路徑中配置儲料機(自動倉庫)等。儲料機例如可以設(shè)置于第1區(qū)段間頂棚軌道13和第二區(qū)段間頂棚軌道14中的任一方或者雙方。高架搬運車50可以能夠針對該儲料機的交接端口進行物品2的交接，例如，能夠在儲料機與第1、第二交接端口30a、30b之間搬運物品2。另外，在法律法規(guī)允許的范圍內(nèi)，引用作為日本申請的日本特愿2017-128570、和在本說明書中引用的全部文獻的內(nèi)容作為本文記載的一部分。附圖標記說明sa1…第1保管區(qū)域；sa2…第二保管區(qū)域；ta1…第1裝置區(qū)域；ta2…第二裝置區(qū)域；lp…裝載端口；tl1…第1處理裝置；tl2…第二處理裝置；2…物品；2a…凸緣部；10…頂棚軌道；11…第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道；12…第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道；13…第1區(qū)段間頂棚軌道；14…第二區(qū)段間頂棚軌道；15…第1連接軌道；16…第二連接軌道；20a…第1保管部；20b…第二保管部；30a…第1交接端口；30b…第二交接端口；40a…第1起重機；40b…第二起重機；41a…第1行駛部；41b…第二行駛部；42a…第1桅桿；42b…第二桅桿；43a…第1升降臺；43b…第二升降臺。徐州糖袋真空搬運機哪里可以買到溧水區(qū)常見真空搬運機推薦廠家！

    保持部53與線材或者帶狀物等懸掛部件53b連接。保持部53從升降驅(qū)動部54懸掛且以能夠擺動的狀態(tài)升降。保持部53可以與上述的第1、第二起重機40a、40b的保持部49是同一結(jié)構(gòu)，也可以是不同結(jié)構(gòu)。升降驅(qū)動部54例如是升降機，通過抽出懸掛部件53b而使保持部53下降，通過卷繞懸掛部件53b而使保持部53上升。升降驅(qū)動部54被控制裝置60等控制，使保持部53以規(guī)定的速度下降或者上升。另外，升降驅(qū)動部54被控制裝置60等控制，將保持部53保持于目標高度。橫向伸出機構(gòu)55例如具有在上下方向重疊配置的可動板。可動板能夠向行駛部51的行駛方向的側(cè)方(與行駛方向正交的方向)移動。在可動板安裝有轉(zhuǎn)動部和升降驅(qū)動部54。主體部52具有引導橫向伸出機構(gòu)55的未圖示的引導件、和驅(qū)動橫向伸出機構(gòu)55的未圖示的驅(qū)動部等。橫向伸出機構(gòu)55通過來自電動馬達等驅(qū)動部的驅(qū)動力，使升降驅(qū)動部54和保持部53沿著引導件，在突出位置與收納位置之間移動。突出位置是從主體部52向側(cè)方突出的位置。收納位置是收納于主體部52內(nèi)的位置。轉(zhuǎn)動部具有未圖示的轉(zhuǎn)動部件和轉(zhuǎn)動驅(qū)動部。轉(zhuǎn)動部件被設(shè)置為能夠圍繞上下方向的軸進行轉(zhuǎn)動。轉(zhuǎn)動部件安裝于升降驅(qū)動部54或者保持部53。轉(zhuǎn)動驅(qū)動部使用電動馬達等。

    控制頭19包括頂端開設(shè)有開口一22、底端開設(shè)有開口二23的殼體24，開口一22與搬運管15底端連通，開口二23通過數(shù)根支管29與各吸盤20——對應連通(即一根支管29連通一個吸盤20)，開口二23上設(shè)置有位于殼體24內(nèi)的閥門，閥門底部的觸頭螺栓26位于殼體24外部，且觸頭螺栓26的底面低于吸盤20的吸附接觸面(本實施例的各吸盤20位于同一水平面上)，操作手柄21固定在控制頭19上。其中，控制頭19帶有真空表27，以便于隨時了解控制頭19內(nèi)的真空度情況；操作手柄21為帶旋轉(zhuǎn)手把的操作手柄，可隨意控制搬運管15的上升、下降，以方便搬運。其中，閥門包括閥片25和數(shù)根外壁上套置有彈簧28的光桿螺桿29，光桿螺桿29均勻分布并固定在開口二23的四周，閥片25配合將開口二23封閉并活動套置在各光桿螺桿29下端，同時由彈簧28抵住。本實用新型對被搬運物體的搬運動作過程如下開啟真空泵13，在真空吸盤裝置對著被搬運物體下壓的過程中，其觸頭螺栓26會先觸碰到被搬運物體，在觸頭螺栓26的向上推力作用下，閥片25被頂開，真空作用力依次通過開口二23、支管29進入吸盤20，終實現(xiàn)對被搬運物體的吸附、搬運。搬運到位后，關(guān)閉真空泵13，閥片25在彈簧28的彈性恢復作用力下被頂回原位，將開口二23密封。六合區(qū)象鼻子真空搬運機推薦廠家！

    萬向輪、2移動小車、3拉桿、4立柱、5主升降氣缸、6主旋轉(zhuǎn)座、7主旋轉(zhuǎn)軸、8主關(guān)節(jié)鎖死裝置、9大側(cè)板、10擺動主臂、11擺動副臂、12副關(guān)節(jié)鎖死裝置、13連接板、14橫臂旋轉(zhuǎn)座、15旋轉(zhuǎn)臂主軸、16旋轉(zhuǎn)臂、17垂臂旋轉(zhuǎn)座、18副旋轉(zhuǎn)軸、19下垂臂、20扶手、21真空吸盤、22工件。具體實施方式在圖中，移動小車2截面呈長方形，其底部四角各設(shè)有一萬向輪1，移動小車2頂端中部設(shè)有立柱4，左側(cè)設(shè)有拉桿3，立柱4頂端設(shè)有主旋轉(zhuǎn)座6，可旋轉(zhuǎn)360°，主旋轉(zhuǎn)座6通過主旋轉(zhuǎn)軸7與大側(cè)板9相連接，大側(cè)板9內(nèi)設(shè)有氣壓控制閥，氣壓控制閥與主升降氣缸5相連接，大側(cè)板9左側(cè)下端設(shè)有主升降氣缸5，大側(cè)板9上設(shè)有內(nèi)側(cè)板，主旋轉(zhuǎn)座6和大側(cè)板9之間設(shè)有主關(guān)節(jié)鎖死裝置8，擺動主臂10和擺動副臂11一端分別與大側(cè)板9相連接，另一端分別與連接板13相連接，擺動主臂10位于擺動副臂11下側(cè)并與擺動副臂11相平行，橫臂旋轉(zhuǎn)座14通過旋轉(zhuǎn)臂主軸15與旋轉(zhuǎn)臂16相連接，旋轉(zhuǎn)臂16可旋轉(zhuǎn)300°，旋轉(zhuǎn)臂16和橫臂旋轉(zhuǎn)座14之間設(shè)有副關(guān)節(jié)鎖死裝置12，旋轉(zhuǎn)臂16末端設(shè)有垂臂旋轉(zhuǎn)座17，可旋轉(zhuǎn)360°，垂臂旋轉(zhuǎn)座17與副旋轉(zhuǎn)軸18相連接，副旋轉(zhuǎn)軸18與下垂臂19相連接，下垂臂19上設(shè)有扶手20，扶手20上設(shè)有電腦控制盒。雨花臺區(qū)牛皮袋真空搬運機推薦廠家！鼓樓區(qū)真空搬運機哪里可以買到

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    能夠減少第二起重機40b與高架搬運車50產(chǎn)生干擾的時刻、和高架搬運車50彼此產(chǎn)生干擾的時刻。另外，也有第二起重機40b或者其他高架搬運車50也以行駛或者停止的狀態(tài)存在于第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12的情況，但能夠通過高架搬運車50所具備的接近傳感器等避免與第二起重機40b或者其他高架搬運車50的干擾。在高架搬運車50的行駛方向上存在第二起重機40b或者其他高架搬運車50的情況下，也可以由控制裝置60等針對第二起重機40b或者其他高架搬運車50指示周期性行駛，確保搬運物品2的高架搬運車50的行駛。另外，第二起重機40b或者其他高架搬運車50也可以代替在第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12上環(huán)繞行駛，而從第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12經(jīng)由第1連接軌道15或者第二連接軌道16移動至第1區(qū)段間頂棚軌道13或者第二區(qū)段間頂棚軌道14。接下來，如圖8所示，高架搬運車50維持將物品2保持的狀態(tài)地在第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12上沿順時針的方向行駛，從第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12的直線部12a經(jīng)由第1連接軌道15的出口部15b向第1區(qū)段間頂棚軌道13移動(參照圖8的箭頭)。第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12、第1連接軌道15、以及第1區(qū)段間頂棚軌道13的截面形狀相同或者大致相同(參照圖6)。天寧區(qū)常見真空搬運機推薦廠家

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