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早期電鏡中曾采用過機械式消像散器，利用手動機械裝置來調整電磁透鏡周圍的小磁鐵組成的消像散器，來改變透鏡磁場分布的缺陷。但由于調整的精確性和使用的方便性均難令人滿意，這種方式已被淘汰。消像散器由圍繞光軸對稱環(huán)狀均勻分布的8個小電磁線圈構成，用以消除（或減?。╇姶磐哥R因材料、加工、污染等因素造成的像散。其中每4個互相垂直的線圈為1組，在任一直徑方向上的2個線圈產(chǎn)生的磁場方向相反，用2組控制電路來分別調節(jié)這2組線圈中的直流電流的大小和方向，即能產(chǎn)生1個強度和方向可變的合成磁場，以補償透鏡中所原有的不均勻磁場缺陷，以達到消除或降低軸上像散的效果。電子顯微鏡分辨率與透過樣品的電子束入射錐角和波長有關。湖南掃描電子顯微鏡公司

電子透鏡用來聚焦電子，是電子顯微鏡鏡筒中較重要的部件。一般使用的是磁透鏡，有時也有使用靜電透鏡的。它用一個對稱于鏡筒軸線的空間電場或磁場使電子軌跡向軸線彎曲形成聚焦，其作用與光學顯微鏡中的光學透鏡（凸透鏡）使光束聚焦的作用是一樣的，所以稱為電子透鏡。光學透鏡的焦點是固定的，而電子透鏡的焦點可以被調節(jié)，因此電子顯微鏡不像光學顯微鏡那樣有可以移動的透鏡系統(tǒng)?，F(xiàn)代電子顯微鏡大多采用電磁透鏡，由很穩(wěn)定的直流勵磁電流通過帶極靴的線圈產(chǎn)生的強磁場使電子聚焦。重慶臺式掃描電子顯微鏡電子顯微鏡企業(yè)電子顯微鏡由電子光學系統(tǒng)、真空系統(tǒng)和供電系統(tǒng)三部分組成。

    電子束與樣品作用，當內層電子被擊出后，外層電子掉入原子內層電子軌道而放出X光，不同原子序，不同能階電子所產(chǎn)生的X光各不相同，稱為特征X光，分析特征X光，可分析樣品元素成份。分析特征X光的方式，可分析特征X光的能量分布，稱為EDS，或分析特征X光的波長，稱為WDS。X光能譜的分辨率，在EDS中約有100~200eV的分辨率，在WDS中則有5~10eV的分辨率。由于EDS的分辨率較WDS差，因此在能譜的解析上，較易產(chǎn)生重迭的情形。由于電子束與樣品作用的作用體積(interactionvolume)的關系，特征X光的產(chǎn)生和作用體積的大小有關，因此在平面的樣品中，EDS或WDS的空間分辨率，受限于作用體積的大小。

使用電子衍射像可以分析樣本的晶體結構。在透射電子顯微鏡中，圖像細節(jié)的對比度是由樣品的原子對電子束的散射形成的。由于電子需要穿過樣本，因此樣本必須非常薄。組成樣本的原子的原子量、加速電子的電壓和所希望獲得的分辨率決定樣本的厚度。樣本的厚度可以從數(shù)納米到數(shù)微米不等。原子量越高、電壓越低，樣本就必須越薄。樣品較薄或密度較低的部分，電子束散射較少，這樣就有較多的電子通過物鏡光欄，參與成像，在圖像中顯得較亮。反之，樣品中較厚或較密的部分，在圖像中則顯得較暗。如果樣品太厚或過密，則像的對比度就會惡化，甚至會因吸收電子束的能量而被損傷或破壞。電子顯微鏡是根據(jù)電子光學原理，用電子束和電子透鏡代替光束和光學透鏡。

掃描電鏡雖然是顯微鏡家族中的后起之秀，但由于其本身具有許多獨特的優(yōu)點，發(fā)展速度是很快的。儀器分辨率較高，通過二次電子像能夠觀察試樣表面6nm左右的細節(jié)，采用LaB6電子，可以進一步提高到3nm。儀器放大倍數(shù)變化范圍大，且能連續(xù)可調。因此可以根據(jù)需要選擇大小不同的視場進行觀察，同時在高放大倍數(shù)下也可獲得一般透射電鏡較難達到的高亮度的清晰圖像。觀察樣品的景深大，視場大，圖像富有立體感，可直接觀察起伏較大的粗糙表面和試樣凹凸不平的金屬斷口象等，使人具有親臨微觀世界現(xiàn)場之感。掃描電子顯微鏡具有景深大、分辨率高，成像直觀、立體感強、放大倍數(shù)范圍寬等特點。重慶臺式掃描電子顯微鏡電子顯微鏡企業(yè)

電子顯微鏡真空裝置由機械真空泵、擴散泵和真空閥門等構成，并通過抽氣管道與鏡筒相聯(lián)接。湖南掃描電子顯微鏡公司

透射電鏡相襯技術：晶體結構可以通過高分辨率透射電子顯微鏡來研究，這種技術也被稱為相襯顯微技術。當使用場發(fā)射電子源的時候，觀測圖像通過由電子與樣品相互作用導致的電子波相位的差別重構得出。然而由于圖像還依賴于射在屏幕上的電子的數(shù)量，對相襯圖像的識別更加復雜。然而，這種成像方法的優(yōu)勢在于可以提供有關樣品的更多信息。通過調整磁透鏡使得成像的光圈處于透鏡的后焦平面處而不是像平面上，就會產(chǎn)生衍射圖樣。對于單晶體樣品，衍射圖樣表現(xiàn)為一組排列規(guī)則的點，對于多晶或無定形固體將會產(chǎn)生一組圓環(huán)。對于單晶體，衍射圖樣與電子束照射在樣品的方向以及樣品的原子結構有關。通常但但根據(jù)衍射圖樣上的點的位置與觀測圖像的對稱性就可以分析出晶體樣品的空間群信息以及樣品晶體方向與電子束通路的方向的相對關系。湖南掃描電子顯微鏡公司

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