能夠比第1、第二起重機(jī)40a、40b更快移動(dòng),因此通過高架搬運(yùn)車50進(jìn)行區(qū)段間(例如第1保管區(qū)域sa1與第二保管區(qū)域sa2之間)的物品2的搬運(yùn),從而能夠在短時(shí)間內(nèi)搬運(yùn)物品2。這樣,將第1、第二起重機(jī)40a、40b與高架搬運(yùn)車50的作用分開,由此能夠使搬運(yùn)系統(tǒng)100整體的物品2的搬運(yùn)效率提高。另外,將第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11由第1起重機(jī)40a與高架搬運(yùn)車50共享,并將第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12由第二起重機(jī)40b與高架搬運(yùn)車50共享,因此無需另外設(shè)置頂棚軌道,能夠減少頂棚軌道10的鋪設(shè)所需要的成本。另外,高架搬運(yùn)車50能夠在第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11和第二區(qū)段間頂棚軌道14上行駛,因此如圖5的單點(diǎn)劃線所示,能夠在與第1、第二處理裝置tl1、tl2的裝載端口lp之間進(jìn)行物品2的交接。其結(jié)果是,在產(chǎn)生第1、第二起重機(jī)40a、40b的故障、或者產(chǎn)生第1、第二起重機(jī)40a、40b因其他物品2的搬運(yùn)而顧及不到等狀況的情況下,能夠暫時(shí)通過高架搬運(yùn)車50進(jìn)行與裝載端口lp之間的物品2的交接,能夠防止搬運(yùn)效率的降低。并且,高架搬運(yùn)車50在作為從其他區(qū)域搬運(yùn)來的物品2的搬運(yùn)目的地的裝載端口lp空置的情況下(能夠搬運(yùn)的情況),保持原樣地將物品2搬運(yùn)至作為搬運(yùn)目的地的裝載端口lp,由此能夠提高物品2的搬運(yùn)效率。棲霞區(qū)室內(nèi)深加工真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家!溧陽牛皮袋真空搬運(yùn)機(jī)哪家的好
第1區(qū)段間頂棚軌道13經(jīng)由第1連接軌道15與第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11和第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12各自的一個(gè)端部(+y側(cè)的端部)連結(jié)。第二區(qū)段間頂棚軌道14經(jīng)由第二連接軌道16與第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11和第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12各自的另一個(gè)端部(-y側(cè)的端部)連結(jié)。第1連接軌道15具有入口部15a和出口部15b作為兩個(gè)軌道。入口部15a形成供高架搬運(yùn)車50從第1區(qū)段間頂棚軌道13向第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11或者第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12行駛的路徑。出口部15b形成供高架搬運(yùn)車50從第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11或者第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12向第1區(qū)段間頂棚軌道13行駛的路徑。第二連接軌道16與第1連接軌道15相同地,具有入口部16a和出口部16b作為兩個(gè)軌道。入口部16a形成供高架搬運(yùn)車50從第二區(qū)段間頂棚軌道14向第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11或者第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12行駛的路徑。出口部16b形成供高架搬運(yùn)車50從第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11或者第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12向第二區(qū)段間頂棚軌道14行駛的路徑。此外,在本實(shí)施方式中,示出第1連接軌道15與第二連接軌道16是同一形狀或者大致同一形狀的例子,但第1連接軌道15與第二連接軌道16也可以是不同的形狀。如圖1所示,第1保管部20a和第1交接端口30a配置于第1保管區(qū)域sa1。如圖1所示。錫山區(qū)米袋真空搬運(yùn)機(jī)有幾種六合區(qū)工業(yè)真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家!
圖7是表示通過高架搬運(yùn)車搬運(yùn)物品時(shí)的移動(dòng)路徑的一個(gè)例子的圖。圖8是接著圖7,通過高架搬運(yùn)車搬運(yùn)物品時(shí)的移動(dòng)路徑的一個(gè)例子的圖。圖9是接著圖8,通過高架搬運(yùn)車搬運(yùn)物品時(shí)的移動(dòng)路徑的一個(gè)例子的圖。圖10是表示保管部和交接端口的其他例子的圖。具體實(shí)施方式以下,參照附圖對(duì)實(shí)施方式進(jìn)行說明。在以下的各圖中,使用xyz坐標(biāo)系對(duì)圖中的方向進(jìn)行說明。在該xyz坐標(biāo)系中,將鉛直方向設(shè)為z方向,將水平方向設(shè)為x方向、y方向。x方向是水平方向內(nèi)的一個(gè)方向,是沿著后述的第1區(qū)段間頂棚軌道13和第二區(qū)段間頂棚軌道14的方向。y方向是與x方向正交的方向,是沿著第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11的直線部11a、和第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12的直線部12a的方向。另外,關(guān)于x、y、z方向的各方向,適當(dāng)?shù)貙⑴c箭頭相同一側(cè)稱為+側(cè)(例如,+x側(cè)),將其相反側(cè)稱為-x側(cè)(例如,-x側(cè))。圖1是表示本實(shí)施方式所涉及的搬運(yùn)系統(tǒng)100的一個(gè)例子的俯視圖。圖1所示的搬運(yùn)系統(tǒng)100例如設(shè)置于半導(dǎo)體設(shè)備的制造工廠等,對(duì)收容有在半導(dǎo)體設(shè)備的制造中使用的半導(dǎo)體晶圓的foup、或者收容有中間掩模等的中間掩模盒等物品2進(jìn)行搬運(yùn)。在本實(shí)施方式中,使用物品2是foup的例子來進(jìn)行說明,但物品2也可以是除foup以外的物品。另外。
將沿上下方向和y方向排列的多個(gè)第1、第二保管部20a、20b中的較上層且y方向的兩端的兩個(gè)作為第1、第二交接端口30a、30b,并將其他作為第1、第二保管部20a、20b使用。在圖1中對(duì)第1、第二交接端口30a、30b標(biāo)注影線。這樣,作為第1、第二交接端口30a、30b使用第1、第二保管部20a、20b的較上層,由此能夠通過高架搬運(yùn)車50和第1、第二起重機(jī)40a、40b雙方進(jìn)行物品2的交接。此外,第1、第二交接端口30a、30b并不限定y方向的兩端的兩個(gè),能夠?qū)⑤^上層的第1、第二保管部20a、20b的全部作為第1、第二交接端口30a、30b使用。此外,第1、第二交接端口30a、30b并不限定第1、第二保管部20a、20b的較上層。第1、第二交接端口30a、30b例如也可以與第1、第二保管部20a、20b設(shè)置。例如,如圖1所示,也可以在俯視下,在第1區(qū)段間頂棚軌道13與第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11之間、第二區(qū)段間頂棚軌道14與第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11之間、第1區(qū)段間頂棚軌道13與第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12之間、第二區(qū)段間頂棚軌道14與第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12之間設(shè)置交接端口130。第1、第二起重機(jī)40a、40b能夠針對(duì)該交接端口130進(jìn)行物品2的交接。另外。棲霞區(qū)象鼻子真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家!
本實(shí)用新型涉及自動(dòng)化設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種新式真空搬運(yùn)式機(jī)械手。背景技術(shù):在自動(dòng)化設(shè)備實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化生產(chǎn)加工的過程中,很多時(shí)候需要借助相應(yīng)的機(jī)械手來實(shí)現(xiàn)工件抓取移送;其中,通過真空吸盤吸附抓取產(chǎn)品的機(jī)械手應(yīng)用于非常。其中,對(duì)于現(xiàn)有的機(jī)械手而言,一般通過X軸驅(qū)動(dòng)線性模組、Y軸驅(qū)動(dòng)線性模組相配合來實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品水平、豎向移動(dòng),或者通過水平氣缸、豎向氣缸相配合來實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品水平、豎向移動(dòng);對(duì)于上述機(jī)械手而言,結(jié)構(gòu)復(fù)雜、穩(wěn)定可靠性較差。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:本實(shí)用新型的目的在于針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足而提供一種新式真空搬運(yùn)式機(jī)械手,該新式真空搬運(yùn)式機(jī)械手設(shè)計(jì)新穎、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、穩(wěn)定可靠性好。為達(dá)到上述目的,本實(shí)用新型通過以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)。一種新式真空搬運(yùn)式機(jī)械手,包括有機(jī)械手安裝架,機(jī)械手安裝架包括有呈豎向布置的固定安裝豎板,固定安裝豎板的下端側(cè)裝設(shè)有豎板固定座,豎板固定座的上端部與固定安裝豎板螺接;固定安裝豎板的前端側(cè)可相對(duì)活動(dòng)地裝設(shè)有分別呈豎向布置的中間活動(dòng)板、前端活動(dòng)架,前端活動(dòng)架位于中間活動(dòng)板的前端側(cè),中間活動(dòng)板與固定安裝豎板之間裝設(shè)有呈水平橫向布置的水平導(dǎo)軌副。棲霞區(qū)包裝袋真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家!錫山區(qū)米袋真空搬運(yùn)機(jī)有幾種
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并且沿著裝載端口lp設(shè)置。第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11是以包圍第1保管區(qū)域sa1的方式配置為環(huán)狀的環(huán)繞軌道,第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12是以包圍第二保管區(qū)域sa2的方式配置為環(huán)狀的環(huán)繞軌道,但并不限定于該結(jié)構(gòu)。第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11具有直線部11a和循環(huán)部11b。直線部11a在裝載端口lp的正上方沿著多個(gè)裝載端口lp在y方向上配置。直線部11a在俯視下分別配置于第1保管區(qū)域sa1與隔著第1保管區(qū)域sa1對(duì)置配置的多個(gè)裝載端口lp之間。循環(huán)部11b包含曲線部且配置于y方向的兩端,將兩個(gè)直線部11a彼此連接。第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12與第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11相同地,具有直線部12a和循環(huán)部12b。直線部12a在裝載端口lp的正上方沿著裝載端口lp與y方向平行地配置。直線部12a在俯視下分別配置于第二保管區(qū)域sa2與隔著第二保管區(qū)域sa2對(duì)置配置的多個(gè)裝載端口lp之間。循環(huán)部12b包含曲線部且配置于y方向的兩端,將兩個(gè)直線部12a彼此連接。此外,在本實(shí)施方式中,示出第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11與第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12是同一形狀或者大致同一形狀的例子,但第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11與第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12也可以是不同形狀。第1區(qū)段間頂棚軌道13和第二區(qū)段間頂棚軌道14被設(shè)置為分別沿著x方向呈直線狀延伸。溧陽牛皮袋真空搬運(yùn)機(jī)哪家的好
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