真空鍍膜技術(shù)代替?zhèn)鹘y(tǒng)的電鍍工藝,不但能節(jié)省大量的膜材和降低能耗,而且還會(huì)消除濕法鍍膜中所產(chǎn)生的環(huán)境污染。因此國(guó)外在鋼鐵零件涂鍍防腐層和保護(hù)膜方面,已采用真空鍍膜工藝來(lái)代替電鍍工藝。在冶金工業(yè)中,為鋼鐵和帶鋼加鍍鋁防護(hù)層已很普遍;在機(jī)械制造業(yè)中,真空鍍膜機(jī)用于改變改變某些加工工藝和節(jié)約貴重的原材料,如飛機(jī)渦輪發(fā)動(dòng)機(jī)的葉片已經(jīng)不用價(jià)格昂貴的耐高溫金屬制造,而是采用價(jià)格低廉易加工材料,成形后再用真空鍍膜的方法在葉片表面上加鍍耐高溫,耐腐蝕的防護(hù)層。再如汽車制造業(yè)中采用塑料制品金屬化零件代替各種金屬零件,既減輕了汽車的重量又節(jié)約了燃油的消耗。在金屬切削刀具上加鍍TiN硬膜可使用刀具壽命提高3~6倍,從而節(jié)省了大量的高速鋼材。塑料薄膜采用真空鍍膜的方法加鍍鋁等金屬膜,再進(jìn)行染色,可得到用于工業(yè)中的裝飾品薄膜。真空鍍膜技術(shù)代替?zhèn)鹘y(tǒng)的電鍍工藝,能節(jié)省大量的膜材和降低能耗。寧夏熱蒸鍍機(jī)
蒸鍍機(jī)的基本原理:(1)加熱蒸發(fā)過(guò)程:包括由凝聚相轉(zhuǎn)變?yōu)闅庀嗟倪^(guò)程,每種蒸發(fā)物質(zhì)在不同的溫度有不同的飽和蒸氣壓。(2)氣態(tài)原子或分子在蒸發(fā)源與基片之間運(yùn)輸,即原子或分子在環(huán)境氣氛中的飛行過(guò)程。(3)蒸發(fā)原子或分子在基片表面張得沉積過(guò)程。即是蒸發(fā),凝聚,成核,核生長(zhǎng),形成連續(xù)的膜。由于基板溫度遠(yuǎn)低于蒸發(fā)源溫度,因此,氣態(tài)分子在基片表面將發(fā)生直接由氣態(tài)到固態(tài)的相轉(zhuǎn)變過(guò)程。真空蒸發(fā)鍍膜法(簡(jiǎn)稱真空蒸鍍)是在真空條件下,加熱蒸發(fā)容器中待蒸發(fā)的材料,使其原子或分子從表面氣化逸出,形成蒸汽流,入社到襯底或基底表面,凝結(jié)成固態(tài)薄膜的方法。真空蒸鍍裝置求購(gòu)真空鍍膜機(jī)過(guò)程的清潔度是影響真空鍍膜附著力的主要指標(biāo)之一。
真空蒸鍍使用的加熱方式主要有:(1)電阻加熱:電阻加熱源是普遍使用的蒸發(fā)源,它結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、操作方便。典型的導(dǎo)電加熱體材料有鎢、鉭、鉬和碳等。導(dǎo)電加熱體的電阻加熱通常采用低電壓(<10V)、大電流(幾百安培)加熱方式??筛鶕?jù)蒸發(fā)材料的性質(zhì)以及蒸發(fā)源材料的浸潤(rùn)性加以選用。(2)電子束加熱:電子束加熱法的基本原理是基于由熱陰極發(fā)射的電子在電場(chǎng)作用下,獲得動(dòng)能轟擊到作為陽(yáng)極的蒸發(fā)材料上,將其動(dòng)能轉(zhuǎn)化為加熱材料的內(nèi)能而使材料蒸發(fā)。由于聚集電子束的能量密度大,可使材料表面局部區(qū)域達(dá)到3000℃~4000℃的高溫,適于蒸發(fā)高熔點(diǎn)金屬、化合物材料和要求高蒸發(fā)速率的場(chǎng)合。(3)射頻感應(yīng)加熱:感應(yīng)加熱是將射頻電源的能量直接耦合到金屬、石墨一類的導(dǎo)體上,其原理是利用高頻電磁場(chǎng)在導(dǎo)體材料中感生的熱量來(lái)直接加熱導(dǎo)體本身。
真空蒸鍍,簡(jiǎn)稱蒸鍍,是指在真空條件下,采用一定的加熱蒸發(fā)方式蒸發(fā)鍍膜材料(或稱膜料)并使之氣化,粒子飛至基片表面凝聚成膜的工藝方法。蒸鍍是使用較早、用途較廣的氣相沉積技術(shù),具有成膜方法簡(jiǎn)單、薄膜純度和致密性高、膜結(jié)構(gòu)和性能獨(dú)特等優(yōu)點(diǎn)。蒸鍍的物理過(guò)程包括:沉積材料蒸發(fā)或升華為氣態(tài)粒子→氣態(tài)粒子快速?gòu)恼舭l(fā)源向基片表面輸送→氣態(tài)粒子附著在基片表面形核、長(zhǎng)大成固體薄膜→薄膜原子重構(gòu)或產(chǎn)生化學(xué)鍵合。將基片放入真空室內(nèi),以電阻、電子束、激光等方法加熱膜料,使膜料蒸發(fā)或升華,氣化為具有一定能量(0.1~0.3eV)的粒子(原子、分子或原子團(tuán))。氣態(tài)粒子以基本無(wú)碰撞的直線運(yùn)動(dòng)飛速傳送至基片,到達(dá)基片表面的粒子一部分被反射,另一部分吸附在基片上并發(fā)生表面擴(kuò)散,沉積原子之間產(chǎn)生二維碰撞,形成簇團(tuán),有的可能在表面短時(shí)停留后又蒸發(fā)。粒子簇團(tuán)不斷地與擴(kuò)散粒子相碰撞,或吸附單粒子,或放出單粒子。此過(guò)程反復(fù)進(jìn)行,當(dāng)聚集的粒子數(shù)超過(guò)某一臨界值時(shí)就變?yōu)榉€(wěn)定的核,再繼續(xù)吸附擴(kuò)散粒子而逐步長(zhǎng)大,然后通過(guò)相鄰穩(wěn)定核的接觸、合并,形成連續(xù)薄膜。真空鍍膜設(shè)備使用的源材料要符合純度要求。
為什么真空鍍膜設(shè)備要配套冷水機(jī)?冷卻配套冷水機(jī)的作用是維持真空鍍膜設(shè)備的溫度,使其工作到高精度、高效率控制溫度的目的。以前在沒(méi)冷水機(jī)的情況下,自然水和水塔散熱都不可避免地受到自然氣溫的影響,而且此方式控制是不穩(wěn)定的。因此,可以說(shuō)冷水機(jī)是設(shè)備中很重要的配套冷卻設(shè)備,因?yàn)槔渌畽C(jī)直接關(guān)系到其工作效果的好壞。這個(gè)要從真空鍍膜設(shè)備的工作原理查看:膜料在高溫下蒸發(fā)落在工件表面結(jié)晶。由于空氣對(duì)蒸發(fā)的膜料分子會(huì)產(chǎn)生阻力造成碰撞使結(jié)晶體變得粗糙無(wú)光,所以在高真空下才能使結(jié)晶體細(xì)密光亮,如果真空度不高結(jié)晶體就會(huì)失去光澤,結(jié)合力也很差。冷水機(jī)設(shè)有制冷系統(tǒng)和冷卻水循環(huán)系統(tǒng),水溫在5℃~30℃范圍內(nèi)調(diào)節(jié)控制,可以到高精度、高效率控制溫度的目的。其冷卻原理是:制冷系統(tǒng)將水冷卻,再由水泵將低溫冷卻水送入真空鍍膜設(shè)備進(jìn)行降溫,冷水機(jī)冷凍水將熱量帶走后溫度升高再回流到水箱,起到冷卻的作用。真空鍍膜機(jī)使用的主要是塑料件,如ABS塑料電鍍?cè)O(shè)備。云南半導(dǎo)體蒸鍍機(jī)設(shè)備
真空鍍膜機(jī)不像化學(xué)電鍍會(huì)用重金屬溶液和酸溶液進(jìn)行鍍膜。寧夏熱蒸鍍機(jī)
真空鍍膜機(jī)的優(yōu)勢(shì)主要體現(xiàn)在:1、外觀改善,表面光滑,有色金屬光澤,裝飾性提高;2、提高表面硬度。原來(lái)的塑料表面比金屬柔軟,容易損壞。通過(guò)真空鍍膜,硬度和耐磨性提高;3、提高耐候性。一般來(lái)說(shuō),塑料在戶外老化很快,主要是由于紫外線輻射。鍍鋁后,鋁對(duì)紫外線的反射較強(qiáng)。因此,耐候性提高;4、使得吸水率降低,涂布次數(shù)越多,吸水率越低,且制品不易變形,耐熱性提高;5、使得塑料表面具有導(dǎo)電性;6、無(wú)需吸塵即可以輕松清潔。寧夏熱蒸鍍機(jī)
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