氦質(zhì)譜檢漏儀換燈絲步驟:當冷規(guī)指針已過1×10-2Pa,按燈絲啟動,燈很亮,發(fā)射電流無指示,量離子源插頭①②足不通,即為燈絲斷,燈絲壽命一般正常使用為1至3個月。1、停機換燈絲:可直接取下離子源更換燈絲,裝好后按正常開機步驟進行。2、不停機換燈絲:關(guān)冷規(guī),關(guān)抽速閥,取離子源插頭,取下離子源,更換燈絲后裝上離子源,插離子源插頭,此時“加速電壓”示值不應有變化,“發(fā)射電流”示值應為零。如其中有一示值與上不符,則是離子源內(nèi)有短路,應取下排除。將閥開關(guān)由“前置”轉(zhuǎn)向“粗抽”(注意:閥開關(guān)在“粗抽”的時間不要超過五分鐘),全開節(jié)流閥,等真空抽上后,關(guān)閉節(jié)流閥,將“粗抽”轉(zhuǎn)向“前置”,開抽速閥,開冷規(guī),等真空過1×10-2Pa后可啟動燈絲,調(diào)氦峰。質(zhì)譜室是氦檢儀的重點部分,它包括離子源、聚焦、質(zhì)量分析器和測量部分。無損氦檢設(shè)備原理
氦檢儀應用領(lǐng)域:工業(yè):真空爐、鍍膜系統(tǒng)、壓力容器、超高真空工程。高能物理:加速器、束線、同步輻射光源??蒲蓄I(lǐng)域:空間模擬系統(tǒng)、試驗裝置、微電子、表面分析系統(tǒng)。半導體及電子:工藝設(shè)備、氣路、氣路傳輸設(shè)備、電子元器件、封裝。汽車制冷:蒸發(fā)器、空調(diào)、管路。核工業(yè):核電閥門、核容器。航空航天:空間模擬器、航天器、管路。電廠:管道、蒸汽發(fā)生器、熱交換器、冷凝器。氦檢儀是對密封容器的泄漏進行快速定位和定量測量的儀器。氦質(zhì)譜檢漏方法與氣泡識別法、壓強衰減法和鹵素檢漏等方法相比,具有檢測靈敏度高、速度快和適用范圍寬,此外氦檢儀選擇無毒、無破壞性、質(zhì)量輕的惰性氣體氦作為探索氣體,所以安全可靠。無損氦檢設(shè)備原理氦質(zhì)譜檢漏儀為什么會選擇氦氣作為主要的示漏氣體?
氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方式通常有兩種,一種為常規(guī)檢漏,另一種為逆擴散檢漏。逆擴散檢漏是把被檢件接在分子泵出氣口一端,漏入的氦氣由分子泵出氣口逆著泵的排氣方向進入安裝在泵的進氣口端的質(zhì)譜管內(nèi)而被檢測。這一檢漏方式是基于分子泵對不同質(zhì)量的氣體具有不同壓縮比(氣體在分子泵出氣口壓強與進氣口壓強之比)即利用不同氣體的逆擴散程度不同程度而設(shè)計的。氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)被檢工件的不同它所使用的檢漏方法也是不同的。對產(chǎn)品檢漏前首先要對工件的結(jié)構(gòu)和制造工業(yè)有所了解,了解有哪些漏源,才能快,準,狠的完成檢漏。
氦質(zhì)譜檢漏儀的維護方法及常見故障的處理:一、機械維護,檢查泵的油量,如果低于低標線,則加入泵油;如果變黑或渾濁,則更換泵。使用方法見機械泵說明書。二、清洗,泄漏探測器沒有氦進入,但有一定的泄漏率指示,長期存在。這主要是由于檢漏口、波紋管、密封圈等被污染后吸附的氦氣,在檢漏時又被釋放,造成較大的底部。為防止油污、粉塵和雜物進入氦質(zhì)譜檢漏儀,在氦質(zhì)譜檢漏儀下方設(shè)置過濾器,將其拆下,用酒精浸泡清洗。檢查泄漏,用棉布擦拭波紋管。三、以下是常見的故障現(xiàn)象、原因及解決方法。斷電:1.電源線連接不當;2、保險管熔斷。3、重新接通電源。4.更換相同規(guī)格的保險管。氦質(zhì)譜檢漏儀是真空檢漏技術(shù)中靈敏度較高,用得比較多的檢漏儀器。
氦檢儀的基本原理是采集被檢件中的氣體將其電離,根據(jù)不同種類氣體離子質(zhì)荷比不同的特點,利用磁偏轉(zhuǎn)分離原理將其區(qū)分開來。儀器只對示漏氣體氦氣有相應信號,而對其他氣體沒有反應,屬于唯1性氦檢儀器。檢漏過程中,一旦出現(xiàn)信號,就說明有氦氣通過漏孔進入被檢件,從而指示出漏孔的位置與大小。而之所以選擇氦氣作為示漏氣體,主要是因為氦質(zhì)量輕,易于穿過漏孔,擴散快,對分析設(shè)備制造的要求相對簡單;同時氦氣在空氣中含量少,本底壓力小,又為惰性氣體,不易發(fā)生反應等等,都為提高儀器靈敏度創(chuàng)造了條件。氦質(zhì)譜檢漏儀是180°磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計。無損氦檢設(shè)備原理
氦檢儀具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的特點。無損氦檢設(shè)備原理
氦檢儀的工作原理:氦檢儀先在質(zhì)譜室中將采集的被測氣體電離,再利用電磁場將不同荷質(zhì)比的離子加以分離檢測,從中檢測出事先安排的示蹤氦離子,主要由三大組件構(gòu)成:真空系統(tǒng)、質(zhì)譜室和電子學控制單元。氦檢儀內(nèi)部配有一臺旋片式真空泵,用以維持儀器內(nèi)部的高真空。質(zhì)譜室是氦檢儀的重點部分,它包括離子源、聚焦、質(zhì)量分析器和測量部分。質(zhì)譜室入口連接在渦輪分子泵的前級真空部分,分子泵對不同的氣體具有不同的壓縮比特性,氦氣的壓縮比很小,可以逆著分子泵的抽氣方向流動進入質(zhì)譜室。在質(zhì)譜室中氦氣被電離,氦離子通過質(zhì)量分析器的篩選到達收集極,產(chǎn)生一個正比于離子數(shù)量的電流信號,該信號經(jīng)過放大和處理即為泄漏率。無損氦檢設(shè)備原理
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