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氦質(zhì)譜檢漏儀雖然是因為選用氦氣作為示漏氣體而得名，但實際上涉及的示漏氣體包括氦氣、氫氣等，主要的是氦氣。而之所以選擇氦氣作為主要的示漏氣體，原因主要有以下幾點：1、氦氣的質(zhì)量輕，易于穿過漏孔，進入系統(tǒng)時流動和擴散快，因此響應快，檢漏靈敏度高。2、氦離子質(zhì)荷比小，因此可以減小磁分析器偏轉(zhuǎn)半徑的尺寸和選用較弱一點的磁場。同時一階氦離子的質(zhì)荷比與一階氫離子、二階碳離子相差較大，利于離子分離，可以適當降低對分析器制造精度的要求，使質(zhì)譜室中氦離子通過的各個縫隙，從而提高氦離子的傳輸率。3、氦在空氣中及殘余氣體中的含量少，在材料出氣中氦氣也很少，因此本底壓力小，檢漏時本底信號小。以上這些因素都為提高氦質(zhì)譜檢漏儀器的靈敏度創(chuàng)造了良好條件。另外，氦氣作為一種惰性氣體，性質(zhì)不活潑，不與真空器件起化學反應，無毒，也不會污染環(huán)境，因此使用起來也十分安全。氦質(zhì)譜檢漏儀是磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計。無錫自動氦質(zhì)譜檢漏儀

氦質(zhì)譜檢漏儀換燈絲步驟：1、停機換燈絲：可直接取下離子源更換燈絲，裝好后按正常開機步驟進行。2、不停機換燈絲：關(guān)冷規(guī)，關(guān)抽速閥，取離子源插頭，取下離子源，更換燈絲后裝上離子源，插離子源插頭，此時“加速電壓”示值不應有變化，“發(fā)射電流”示值應為零。如其中有一示值與上不符，則是離子源內(nèi)有短路，應取下排除。將閥開關(guān)由“前置”轉(zhuǎn)向“粗抽”(注意：閥開關(guān)在“粗抽”的時間不要超過五分鐘)，全開節(jié)流閥，等真空抽上后，關(guān)閉節(jié)流閥，將“粗抽”轉(zhuǎn)向“前置”，開抽速閥，開冷規(guī)，等真空過1×10-2Pa后可啟動燈絲，調(diào)氦峰。氦質(zhì)譜檢漏儀燈絲安裝時應先將離子源內(nèi)的污漬用細砂紙打干凈，清洗后再裝。燈絲應正對電離盒電子入口，盡量靠近電離盒，但不能短路，三根引線間也不能相互短路。安徽無損氦質(zhì)譜檢漏儀多少錢一臺氦質(zhì)譜檢漏儀可以根據(jù)客戶需求定制。

氦質(zhì)譜檢漏儀主要性能指標試驗方法：靈敏度、反應時間、清理時間、工作真空度、極限真空度及儀器入口處抽速是評價氦質(zhì)譜檢漏儀的主要性能指標。反應時間、清理時間及其測定：反應時間是指儀器節(jié)流閥完全開啟，本底訊號為零（或補償?shù)搅悖r，由恒定的氦流量使輸儀表訊號上升到值的（1-e-1）倍（即O.63）所需要的時間，記為τR。清理時間是指輸出儀表訊號穩(wěn)定到值后，停止送氦，其訊號下降到值的e-1倍（即O.37）所需要的時間，記為τC。工作真空、極限真空及入口處抽速，質(zhì)譜室極限真空，尤其是工作真空及入口處抽速是表征儀器性能的重要參數(shù)。利用檢漏儀的真空規(guī)可以測定儀器的極限真空和工作真空。利用流量計可測定儀器入口處抽速。

氦質(zhì)譜檢漏儀技術(shù)是真空檢漏領(lǐng)域里不可缺少的一種技術(shù)，由于檢漏效率高，簡便易操作，儀器反應靈敏，精度高，不易受其他氣體的干擾，在電阻爐檢漏中得到了普遍應用。氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學原理，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。質(zhì)譜室里的燈絲發(fā)射出來的電子，在室內(nèi)來回地振蕩，并與室內(nèi)氣體和經(jīng)漏孔進入室內(nèi)的氦氣相互碰撞使其電離成正離子，這些氦離子在加速電場作用下進入磁場，由于洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉(zhuǎn)，形成圓弧形軌道，改變加速電壓可使不同質(zhì)量的離子通過磁場和接收縫到達接收極而被檢測。噴氦法、吸氦法是氦質(zhì)譜檢漏儀在電阻爐檢漏中較常用的兩種方法。氦質(zhì)譜儀的泄漏檢測方法通常有兩種，一種是常規(guī)泄漏檢測，另一種是反向擴散泄漏檢測。

氦質(zhì)譜檢漏儀開機步驟：1、將總電源轉(zhuǎn)到“前級泵”，低真空表頭指示值應從左向右逐漸上升至2~15Pa，開抽速閥，開漏孔開關(guān)，表頭示值也應能抽到原來位置，再關(guān)抽速閥。2、將總電源轉(zhuǎn)到“擴散泵”，燈亮，擴散泵開始加熱。3、等20分鐘左右，擴散泵排氣管應熱，開冷規(guī)開關(guān)，戴表壓強的質(zhì)譜室表頭指針應從左打向右(即冷規(guī)已激發(fā))再關(guān)冷規(guī)。4、開抽速閥，過幾分鐘后開冷規(guī)，表頭指針應從左打向右，再從右向左逐漸上升(真空示值在1×10-2Pa以下請不要長時間開冷規(guī)，可等一會兒再開)，當真空示值超過1×10-2Pa后，可啟動燈絲，燈亮，“發(fā)射電流”有指示，開、關(guān)漏孔檢查氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度(可調(diào)加速電壓使信號指示Zda)，靈敏度達要求后關(guān)漏孔。5、將工件用外接泵抽上真空后，開節(jié)流閥至冷規(guī)指示值為5×10-3~1×10-2Pa之間，對被檢件噴氦檢漏。檢漏完畢。氦質(zhì)譜檢漏儀可以對具有內(nèi)腔的微電子或半導體器件封裝的氣密性進行細檢漏。上海全自動氦質(zhì)譜檢漏儀定制

禁止任何外來物掉在或灑在氦質(zhì)譜檢漏儀上，尤其是進氣口中。無錫自動氦質(zhì)譜檢漏儀

氦質(zhì)譜檢漏儀的結(jié)構(gòu)組成：它通過質(zhì)譜室的重點供電和測量，所以作為供電的重點部分，其中一部分屬于真空部分，對這部分的重點檢測要求非常高，通過檢測中獲得的檢測數(shù)據(jù)輸出形成重點裝置。然后氦質(zhì)譜檢漏儀主要通過控制電流輸出的大小，由于氣密性檢測儀離子流收集極接收到的離子流很小，必須放大后才能顯示輸出。通過交流放大器放大調(diào)制的離子流。輸出信號由顯示儀表和聲音裝置(揚聲器)指示。低頻發(fā)生器，低頻發(fā)生器產(chǎn)生頻率為5~7Hz，振幅為14~16V的調(diào)制電壓，該電壓疊加在加速電壓上，實現(xiàn)離子流調(diào)制。高壓整流器和發(fā)射電流穩(wěn)定裝置。發(fā)射電流穩(wěn)定裝置是調(diào)節(jié)燈絲加熱電流，從而保持燈絲發(fā)射電流穩(wěn)定，提高靈敏度。發(fā)射電流可以分幾個檔次進行有級調(diào)節(jié)，以改變儀器的靈敏度。高壓整流器提供冷陰極磁控電源。真空規(guī)放電電流指示氣體壓力值，由儀器顯示，其放電電流也作為繼電保護的輸入信號。當質(zhì)譜檢漏儀室真空度惡化時，放電電流增大，使繼電器動作，然后切斷燈絲加熱電流，保護燈絲不被燒毀。無錫自動氦質(zhì)譜檢漏儀

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