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氦質(zhì)譜檢漏儀是對比性測試儀器，其工作原理是對進入質(zhì)譜室的氦氣分子電離，轟擊靶心產(chǎn)生電離，并放大，通過電流大小的判斷氦氣分子的多少！進入質(zhì)譜室氦氣分子的比例（分流比），還有電氣參數(shù)的不同，電流相同，漏率可能不同；或漏率不同，電流相同；所有檢漏儀本身并不知道放大后的電流對應(yīng)的漏率是多少，需要參照物，這個參照物就是標準漏孔。氦質(zhì)譜檢漏儀自身保養(yǎng)小知識：（1）前級真空泵的定期換油及深度保養(yǎng)；（2）電磁閥組的超聲清洗；（3）質(zhì)譜模塊組件的超聲清洗以及分子泵的定期保養(yǎng)維護。氦檢儀內(nèi)部配有一臺旋片式真空泵,用以維持儀器內(nèi)部的高真空。智能氦氣檢測機品牌推薦

氦質(zhì)譜檢漏儀原理：氦質(zhì)譜檢漏儀是基于質(zhì)譜法原理，以氦氣作為檢漏的儀器。質(zhì)譜儀由離子源、分析儀、收集器、冷陰極電離計、氣體萃取系統(tǒng)和電氣部分組成。質(zhì)譜法室中燈絲發(fā)射的電子在室內(nèi)來回振蕩，與室內(nèi)氣體碰撞，氦氣泄漏進入室內(nèi)，電離成正離子，正離子在加速電場的作用下進入人體磁場，當洛倫茲力效應(yīng)偏轉(zhuǎn)時，電弧形成，加速電壓的變化使不同質(zhì)量的離子通過磁場和接收槽到達接收極而被探測到。氦氣噴射法和氦氣吸收法是電阻爐氦質(zhì)譜檢漏儀常用的兩種檢漏方法。氦質(zhì)譜檢漏儀正朝著高靈敏度、便攜式、自動化、寬量程、無油系統(tǒng)等先進方向發(fā)展。智能氦氣檢測機品牌推薦氦檢儀能夠雙燈絲自動切換、自動調(diào)零、自動校準和自動量程切換。

使用氦檢儀需注意的幾個問題：(1)檢漏方法的選擇:目前,電廠采用氦檢儀檢漏通常采用負壓采樣法,該方法操作簡便,但儀器的清理時間較長。根據(jù)被檢系統(tǒng)的不同也可以采用真空法檢漏,即將氦檢儀的測試口直接接至真空系統(tǒng)的抽氣管道上,通過節(jié)流閥調(diào)節(jié)氣流以衰減氦檢儀與真空系統(tǒng)間的壓差,使氦檢儀正常工作,該方法檢漏效率稍高,但安裝較為復(fù)雜。(2)儀器靈敏度:靈敏度的高低直接影響檢漏的效果。氦檢儀經(jīng)過一段時間的使用后,靈敏度會有所下降,嚴重時對純氦無反應(yīng)。因此,平時應(yīng)該經(jīng)常保持儀器,特別是質(zhì)譜室的清潔,定期打開氣鎮(zhèn)閥運行一段時間,并給旋片真空泵換油,這樣可以減少儀器對氦的記憶效應(yīng)。另外還要定期用標準漏孔對儀器的靈敏度進行校驗,使氦檢儀始終保持較佳的工作狀態(tài)。

選擇氦檢儀時主要考慮以下問題：（1）儀器的功能能滿足檢漏的要求。如有些儀器沒有逆流檢漏功能，就不適合正壓法檢漏；有些儀器沒有報廢漏率的設(shè)置功能，不宜作為批量產(chǎn)品篩選檢漏用；流水線上要求一定的檢漏速度，此時應(yīng)選擇有多工位的氦檢儀。（2）儀器的靈敏度能滿足檢漏的要求。國內(nèi)外生產(chǎn)的不同類型的氦檢儀的靈敏度是不一樣的，如果檢漏要求的靈敏度較高，就要認真選擇。（3）被檢件如果害怕油的污染，就應(yīng)選擇無油真空系統(tǒng)的氦檢儀。（4）被檢件容積如果較大，必須選用預(yù)抽泵抽速大的氦檢儀，否則就要外加預(yù)抽泵。（5）如果被檢對象不固定，體積時大時小，靈敏度要求時高時低，就要選擇功能較全、靈敏度較高、檢漏范圍寬的氦檢儀。（6）如果檢漏地點不固定，需要經(jīng)常搬運儀器時，就要選擇小型便攜式儀器。（7）在滿足上述檢漏基本要求的基礎(chǔ)上，還要綜合考慮儀器的價格是否低、操作是否簡易、維修是否方便等方面的問題。氦質(zhì)譜檢漏儀在運行過程中不能移動。

氦質(zhì)譜檢漏儀是180°磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計，其基本原理是根據(jù)離子在磁場中運動時，不同質(zhì)荷比的離子具有不同的偏轉(zhuǎn)半徑來實現(xiàn)不同種類離子的分離。檢漏儀主要由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)及電氣控制部分組成。檢漏工作時先打開抽空閥前級泵對檢漏接口抽真空，當真空度P1優(yōu)于200Pa時，打開入口閥1、2，關(guān)閉抽空閥，氦氣將逆著分子泵的抽氣方向進入質(zhì)譜室中被檢測出來，此時檢漏儀的可檢漏率為10-10Pa·m3/s。前級泵繼續(xù)對檢漏接口抽真空，當P1降至20Pa時，入口閥2關(guān)閉，入口閥3打開，分子泵的高抽速用于抽空試件，檢漏儀的反應(yīng)時間縮短，此時檢漏儀的可檢漏率為10-12Pa·m3/s。氦質(zhì)譜檢漏儀是180°磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計。自動氦氣檢測機哪家好

氦檢儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器。智能氦氣檢測機品牌推薦

選擇氦質(zhì)譜檢漏儀時主要考慮以下問題：1、儀器的功能能滿足檢漏的要求。如有些儀器沒有逆流檢漏功能，就不適合檢漏；有些儀器沒有報廢漏率的設(shè)置功能，不宜作為批量產(chǎn)品篩選檢漏用；流水線上要求一定的檢漏速度，此時應(yīng)選擇有雙工位的檢漏儀。2、儀器的靈敏度能滿足檢漏的要求。國內(nèi)外生產(chǎn)的不同類型的氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度是不一樣的，如果檢漏要求的靈敏度較高，就要認真選擇。3、被檢件如果害怕油的污染，就應(yīng)選擇無油真空系統(tǒng)的檢漏儀。4、被檢件容積如果較大，必須選用抽泵抽速大的檢漏儀，否則就要外加預(yù)抽泵。智能氦氣檢測機品牌推薦

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