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全國本地微孔陶瓷真空吸盤推廣

種微孔真空吸盤工作臺的制作方法

【技術(shù)領(lǐng)域】

[0001]本實用新型涉及一種微孔真空吸盤工作臺,屬于機械設(shè)備領(lǐng)域。

【背景技術(shù)】

[0002]劃片刀用于精密加工,由于它的損耗速度非???,因此需求量非常大。生產(chǎn)劃片刀需要使用晶圓劃片機,目前我國*有少數(shù)的幾家工廠擁有這種設(shè)備,在生產(chǎn)過程中發(fā)現(xiàn),現(xiàn)有技術(shù)的晶圓劃片機的工作臺壽命較短,由于其結(jié)構(gòu)的不合理通常I?6個月即會變形,在生產(chǎn)過程中,隨溫度變化也會變形加快。

【實用新型內(nèi)容】

[0003]本實用新型的目的在于,提供一種微孔真空吸盤工作臺,它能夠解決現(xiàn)有技術(shù)的不足,提供一種結(jié)構(gòu)更合理,使用壽命更長的工作臺。 材料:氧化鋁、氧化鋯、氮化硅、碳化硅.全國本地微孔陶瓷真空吸盤推廣

全國本地微孔陶瓷真空吸盤推廣,微孔陶瓷真空吸盤

    高致密性陶瓷真空吸盤(多孔陶瓷真空吸盤),特殊的多孔陶瓷材料其孔徑為2~3微米,不易阻塞真空力大,部份面積吸附,同時也可作氣浮平臺,廣泛應(yīng)用半導(dǎo)體、面板、雷射制程及非接觸線性滑軌。多孔陶瓷真空吸盤是密封的空氣來維持傳輸,裝置應(yīng)用***用于平坦,無孔表面的工作平臺。使用者通常是機器操作員。在金屬加工領(lǐng)域,這是一項安全可靠的工件傳輸。自動化搬運、對象吸取、定位、精密網(wǎng)板印刷用工作臺,利用孔洞透氣性陶瓷(氧化鋁或碳化硅)接上真空吸力,將工作物(包括晶圓、玻璃、PET膜或其他薄型工作物)放置陶瓷工作吸盤上,利用真空吸力使工作物固定,進行清洗、切割、研磨、網(wǎng)版印刷及其他加工程序。微孔真空陶瓷工作盤是各種半導(dǎo)體片生產(chǎn)過程中用于吸附及承載的**工具,應(yīng)用于減薄、劃片、清洗、搬運等工序。Fountyl公司生產(chǎn)的工作盤可以和日本、德國、以色列、美國及國產(chǎn)的設(shè)備配套使用,具有優(yōu)越的性能價格比。 珠海銷售微孔陶瓷真空吸盤價格吸附面吸力均一,可以用來固定很薄的加工物,像薄膜一類。

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二、燒成

氧化鋯在不同溫度下,存在著三種同質(zhì)異形體,即立方晶系、單斜晶系和四方晶系。氧化鋯晶形的轉(zhuǎn)變溫度如下:


由單斜晶系轉(zhuǎn)化為四方晶系時伴有7%左右的體積變化。加熱時由單斜一氧化鋯轉(zhuǎn)變?yōu)樗姆揭谎趸啺l(fā)生體積收縮;冷卻時由四方一氧化鋯轉(zhuǎn)變?yōu)閱涡币谎趸啺l(fā)生體積膨脹,這種收縮與膨脹并不發(fā)生在同一溫度,前者約為1200oC,后者約為1000oC。


氧化鋯陶瓷的燒結(jié)溫度隨原料的制備方法、細度、添加劑種類和加入量的多少而不同,一般在1500~1650oC之間,因此氧化鋯陶瓷沒有統(tǒng)一的燒成曲線,其適宜的燒成制度要通過燒成試驗?zāi)艿玫?。氧化鋯陶瓷的燒成由于伴隨著體積的變化,很容易出現(xiàn)開裂,因此燒成曲線的選擇在氧化鋯陶瓷燒成過程中是非常重要的。要注意控制升溫速率,特別在其晶相轉(zhuǎn)變溫度區(qū)域內(nèi),升溫速率要放慢,對厚胎和大件制品更要注意升溫速率。在1100oC以上降溫速率也要控制好,不能太快,否則也會出現(xiàn)開裂。

冷凍干燥工藝

在該工藝中,讓冰將柱狀的凝膠包圍和隔離著,并且控制溶液中冰的生長方向為單向生長,冰溶化后纖維就形成了。在另外一種制備孔陶瓷的凍干工藝中,溶劑是直接由固態(tài)到氣態(tài)升華而排除的。通過控制金屬鹽溶液的冷凍方向獲得了方向性好、氣孔率很高(>90%)的多孔陶瓷。

自蔓延高溫合成(SHS) 工藝

燃燒合成, 又稱自蔓延高溫合成用燃燒合成技術(shù)制備多孔材料的主要過程是放熱反應(yīng),化學(xué)反應(yīng)釋放出來的熱量維持反應(yīng)的自我進行,合成新物質(zhì)的同時獲得了所期望的多孔材料,包括具有一定形狀的多孔材料。燃燒合成過程總是伴隨著燒結(jié)現(xiàn)象,燒結(jié)體的孔隙度很高,可以達到50%左右,甚至更高。SHS與常規(guī)方法相比主要有以下特點和優(yōu)勢:合成反應(yīng)過程迅速,能大量節(jié)省能源,產(chǎn)品純度高,工藝相對簡單,適合于制備各類無機材料。SHS 存在的主要不足之處是反應(yīng)快迅速,試樣的燒結(jié)尺寸難以控制。 經(jīng)特殊工藝加工出來的微孔陶瓷材料.

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吸盤類型:微孔陶瓷。

主要特點:平面度、平行度好,組織致密均勻、強度高、通透性好、吸附力均勻。

我廠位于享譽中國科技前沿重鎮(zhèn)的珠三角,有10多年專業(yè)生產(chǎn)加工氧化鋁、氧化鋯、氮化硅、碳化硅陶瓷生產(chǎn)加工經(jīng)驗。技術(shù)力量雄厚、設(shè)備精良,加工經(jīng)驗豐富?,F(xiàn)有多臺精密數(shù)控設(shè)備、精密機床、以及各種**的加工工藝和加工工具,并配備各種精密檢測儀器,以確保產(chǎn)品質(zhì)量精度??筛鶕?jù)客戶圖紙生產(chǎn)、加工各種規(guī)格、種類的精密陶瓷零件。產(chǎn)品精度高,性能良好,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光伏、精密機械、**、醫(yī)療、科研等領(lǐng)域。

產(chǎn)品主要包括:陶瓷軸、陶瓷柱塞、氧化鋁陶瓷手臂、陶瓷圓盤、微孔陶瓷真空吸盤、基片、各種異形件等。 憑借特殊的結(jié)構(gòu)從而具有耐高溫、耐磨損、耐化學(xué)腐蝕、機械強度高.廣州本地微孔陶瓷真空吸盤價格優(yōu)惠

多孔陶瓷真空吸盤是密封的空氣來維持傳輸.全國本地微孔陶瓷真空吸盤推廣

2、濕氫法

濕氫法是將Al 粉置于Al2O3中,在適當?shù)奈恢梅湃雴尉l2O3以誘導(dǎo)陶瓷生長,放入管式爐內(nèi),在濕氫氣氛下加熱至1400℃,保持2h,濕氫**控制為-30℃。通過控制氫氣**起到對其中水蒸氣含量的控制,制備得到的氧化鋁陶瓷。

濕氫法優(yōu)點是氧化鋁陶瓷以螺旋位錯機理生長,產(chǎn)品品質(zhì)較好。缺點是**不易控制,受環(huán)境濕度因素干擾大,且對實驗設(shè)備影響很大。


3、模板法

目前,研究報道模板法主要是采用棉花纖維和碳納米管為模板,制備氧化鋁陶瓷。主要工藝過程是首先將棉花纖維浸入5%的AlCl3溶液中2min,80℃下干燥24 h,放入剛玉坩鍋置于烘箱中分別在 800℃、1000℃和1200℃下燒制2h,即得到多晶的氧化鋁陶瓷陶瓷。 全國本地微孔陶瓷真空吸盤推廣

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