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HMDS真空烤箱主要技術(shù)指標(biāo)：1.機(jī)外殼采用冷扎鋼板噴塑處理，內(nèi)膽為不銹鋼316L材料制成；加熱器均勻分布在內(nèi)膽外壁四周，內(nèi)膽內(nèi)無任何電氣配件及易燃易爆裝置。鋼化、防彈雙層玻璃門觀察工作室內(nèi)物體一目了然。2.箱門閉合松緊能調(diào)節(jié)，整體成型的硅橡膠門封圈，確保箱內(nèi)高真空度。3.微電腦智能控溫儀，具有設(shè)定，測定溫度雙數(shù)字顯示和PID自整定功能，控溫精確，可靠。4.智能化觸摸屏控制系統(tǒng)配套日本三菱PLC模塊可供用戶根據(jù)不同制程條件改變程序，溫度，真空度及每一程序時間。5.HMDS氣體密閉式自動吸取添加設(shè)計，真空箱密封性能佳，確保HMDS氣體無外漏顧慮。整個系統(tǒng)采用優(yōu)良材料制造，無發(fā)塵材料，適用100級光刻間凈化環(huán)境。6HMDS管路加熱功能，使HMDS液體進(jìn)入箱體的前端管路加熱，使轉(zhuǎn)為HMDS氣態(tài)時更易。7.低液報警裝置，采用紅外液體感測器，能及時靈敏給出指令（當(dāng)HMDS液過低時發(fā)出報警及及時切斷工作起動功能）8.溫度與PLC聯(lián)動保護(hù)功能（當(dāng)PLC沒有啟動程序時，加溫功能啟動不了，相反加溫功能啟動時，PLC程序不按正常走時也及時切斷工作功能，發(fā)出警報）9.整個箱體及HMDS氣體管路采用SUS316不銹鋼材料，整體使用無縫焊接（避免拼接導(dǎo)致HMDS液體腐蝕外泄對人體的傷害）工業(yè)烤箱的作用是什么？合肥真萍告訴您。南京工業(yè)烤箱廠家

石墨盤烤盤爐

一.產(chǎn)品介紹

真空烤盤爐是與MOCVD設(shè)備配套使用的爐體，爐內(nèi)抽真空，被處理工件放置在爐膛內(nèi)，采用清洗氣體加熱反應(yīng)方式進(jìn)行干式清洗（清洗氣體：N2，H2）。主要用于有效清洗除MOCVD承受器（SiC涂層石墨盤或石英盤）上的氮化鎵和氮化鋁等，可達(dá)到有效清潔處理，提高制品質(zhì)量的目的。

二、設(shè)計特點(diǎn)

1、后門設(shè)計熱風(fēng)電機(jī)

2、降溫時風(fēng)機(jī)開啟，同時兩端降溫封頭開啟，爐膛內(nèi)產(chǎn)生如圖所示的氣體流向

3、通過氣體介質(zhì)將隔熱層內(nèi)與水冷壁之間進(jìn)行熱交換，達(dá)到快速降溫的目的

三、技術(shù)指標(biāo)

1、使用溫度：1450℃；比較高溫度：1500℃；

2、絕熱材料：石墨纖維毯、石墨紙；

4、加熱元件：石墨加熱棒；

5、冷卻方式：氣冷 + 循環(huán)風(fēng)冷降溫；

6、控溫穩(wěn)定度：±2℃，具有PID參數(shù)自整定功能；

7、爐膛溫度均勻度：±5℃（恒溫1500℃）；

8、氣氛: 可向爐膛內(nèi)通入干燥、潔凈、無油的高純度氮?dú)?純度≥99.999%；

9、極限真空: 10-3torr級；

10、抽氣速率：空載下，30min達(dá)到10-2torr

11、升溫功率：170kW；

12、升溫速率：15℃/min（空載）；

13、降溫速率：1450℃至80℃,240分鐘

14、腔體尺寸：1000*1000*1000mm（寬*深*高） 南京工業(yè)烤箱廠家工業(yè)烤箱，有哪些好處值得選擇？

1、采用智能型溫度控制模塊，PID自動演算，LED顯示，配合SSR大功率可控硅輸出，能控制溫度之精細(xì)度；2、分段控制（當(dāng)?shù)竭_(dá)設(shè)定溫度時可任意關(guān)掉其中幾段發(fā)熱管，降低加熱功率，其達(dá)到省電效果）3、內(nèi)箱采用1.5mm厚SUS304#不銹鋼(清潔無塵，防生銹、耐腐蝕)，外箱采用1.5mm厚Q235冷軋鋼板(強(qiáng)度、塑性和焊接綜合性能相當(dāng)好)；4、整機(jī)控制系統(tǒng)采用觸摸屏加PLC程序控制，設(shè)備加熱、運(yùn)風(fēng)、傳動、自動門開關(guān)均采用智能控制，防止失誤動作；1、雙邊配有鏈條傳動，解決傳送過程中跑偏的現(xiàn)象；2、烘箱分段式加熱，單獨(dú)電箱控制，方便操作，結(jié)構(gòu)主要由輸送機(jī)系統(tǒng)與烘干爐兩大部分組成，多段單獨(dú)；3、PID溫度控制，爐內(nèi)溫度均勻；4、輸送速度變頻調(diào)速，調(diào)節(jié)自如，運(yùn)行平穩(wěn)，產(chǎn)能高；5、每段單獨(dú)箱體設(shè)置廢氣排放接口，可外接到車間外面，避免車間廢氣污染。

工業(yè)烤箱的熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)有利于提高空氣溫度的均勻性，在工業(yè)烤箱開關(guān)箱門運(yùn)送物料的過程中，溫度值會受到影響發(fā)生變動，熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)的均勻性則有利于在比較大快速度內(nèi)恢復(fù)工作狀態(tài)的溫度值。工業(yè)烤箱在工作時，操作人員通過儀表和感溫器來獲得工業(yè)烤箱內(nèi)部的溫度值，在通過控制系統(tǒng)進(jìn)行操作。工業(yè)烤箱的熱風(fēng)循環(huán)加熱方式，與普通的散熱加熱方式相比，有著更好的氣體流動性，能加快工業(yè)烤箱內(nèi)物料的干燥速度。工業(yè)烤箱的熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)由送風(fēng)馬達(dá)、風(fēng)輪和電熱器組成，送風(fēng)馬達(dá)帶動風(fēng)輪送出冷風(fēng)，冷風(fēng)經(jīng)過電熱設(shè)備加熱攜帶熱能后經(jīng)風(fēng)道進(jìn)入工業(yè)烤箱的烘箱工作室。工業(yè)烤箱如何發(fā)揮重要作用？

工業(yè)烤箱，烘箱按行業(yè)來分可分為：電子行業(yè)烘箱 儀器儀表行業(yè)烘箱 塑料及橡膠行業(yè)烘箱 電工器材行業(yè)烘箱 電鍍行業(yè)烘箱印刷行業(yè)烘箱 眼鏡行業(yè)烘箱 制藥行業(yè)烘箱 紡織印染行業(yè)烘箱 機(jī)械行業(yè)烘箱 合成纖維行業(yè)烘箱 木材行業(yè)烘箱 磨擦材料烘箱 。而將熱風(fēng)送出，再經(jīng)由風(fēng)道至烘箱內(nèi)室，再將使用后的空氣吸入風(fēng)道成為風(fēng)源再度循環(huán)，加熱使用。確保室內(nèi)溫度均勻性。當(dāng)因開關(guān)門動作引起溫度值發(fā)生擺動，可介此送風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)迅速恢復(fù)操作狀態(tài)溫度值，合肥真萍。工業(yè)烤箱應(yīng)用再哪些地方？南京工業(yè)烤箱廠家

工業(yè)烤箱的結(jié)構(gòu)如何組成？南京工業(yè)烤箱廠家

真萍科技電腦式潔凈節(jié)能氮?dú)夤裰饕獞?yīng)用于解決晶圓片的潮濕、氧化及被其它氣體(ex阿摩利亞氣體)破壞，解決探針卡潮濕及氧化問題解決光罩的受潮問題---黃光部封裝的金線，解決液晶的受潮問題，解決線路板受潮問題。下面為大家簡單介紹一下真萍科技電腦式潔凈節(jié)能氮?dú)夤瘛９耋w規(guī)格、配備：1.左右雙開門，3mm鋼化玻璃，1mm厚不銹鋼板，氣密式隱藏鎖把手。2.柜體密封高吸附力磁性膠條與柜體密閉，腳墊采高承載車輪及調(diào)整高低腳墊。3.附高載重不銹鋼隔板，柜體加裝高載重煞車輪。4.上掀式氣密蓋，方便FFU保養(yǎng)及維修。5.回風(fēng)循環(huán)設(shè)計，單向氮?dú)庋h(huán)不產(chǎn)生紊流。6.背面氣密開門式設(shè)計，方便潔凈清理與保養(yǎng)。南京工業(yè)烤箱廠家

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