選擇氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏方法的原則:1、主要根據(jù)被檢漏設(shè)備的允許漏率為依據(jù),由于一個(gè)設(shè)備的允許漏率是很多漏孔漏率的綜合體現(xiàn)。為找到一個(gè)單個(gè)漏孔,所選擇檢漏方法的檢漏靈敏度就要高于允許漏率1-2個(gè)數(shù)量級。如一個(gè)設(shè)備的允許漏率為10-11w,而必須選用的氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度為10-12∽10-13W。2、根據(jù)具體被檢對象,所用方法簡便易行,經(jīng)濟(jì)實(shí)用。低噪聲、低振動(dòng),設(shè)備堅(jiān)實(shí)牢固;性能可靠,操作簡便,造型美觀,售后服務(wù)周到;自保護(hù)功能,防止本底被污染;檢漏效率高,帶故障提示和報(bào)警功能。氦質(zhì)譜檢漏儀在噴氦檢漏應(yīng)該注意檢漏場地要有良好的通風(fēng)條件,不應(yīng)影響噴口噴出的氦氣氣流的方向。江蘇模塊式氦質(zhì)譜檢漏儀報(bào)價(jià)
氦質(zhì)譜檢漏儀真空系統(tǒng):氦質(zhì)譜檢漏儀的真空系統(tǒng)部分由分子泵、前級機(jī)械泵組成。在常規(guī)檢測時(shí)通常由前級機(jī)械泵對被檢件預(yù)抽真空,當(dāng)真空度達(dá)到一定壓力后,再進(jìn)入真空系統(tǒng)部分;被檢件在檢測前會(huì)被要求進(jìn)行清潔前處理,以防止粉塵、顆粒物等污染物進(jìn)入真空系統(tǒng);否則將直接污染真空系統(tǒng),甚至造成真空泵損壞;所以被檢件的清潔前處理及對設(shè)備自身定期的保養(yǎng)清理尤為重要。設(shè)備自身保養(yǎng)小知識(shí):(1)前級真空泵的定期換油及深度保養(yǎng);(2)電磁閥組的超聲清洗;(3)質(zhì)譜模塊組件的超聲清洗以及分子泵的定期保養(yǎng)維護(hù)。浙江便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀售后服務(wù)氦質(zhì)譜檢漏儀運(yùn)用了氦質(zhì)譜和逆擴(kuò)散原理,采用了原裝進(jìn)口分子泵、180°非均勻磁場和全自動(dòng)控制技術(shù)。
氦質(zhì)譜檢漏儀對檢漏方法的具體要求:1、檢漏靈敏度高,可以檢出很小的漏孔;2、反應(yīng)時(shí)間短,可以提高工作效率;3、能定位、定量,不但能夠找出漏孔的位置,還能知道漏率的大小,以便確定是否合乎質(zhì)量要求;4、能無損檢漏,不使被檢設(shè)備受到損傷和污染;5、穩(wěn)定性好,即可以在足夠長時(shí)間內(nèi)靈敏度穩(wěn)定可靠;6、所用“示蹤氣體”在空氣中含量低,無毒,不腐蝕零件;7、檢漏范圍大,從大漏孔到小漏孔都能檢測到,以減少檢漏設(shè)備的數(shù)量和費(fèi)用;8、檢漏時(shí)潔凈無油,滿足一些特殊的要求。氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜儀學(xué)原理,用氦氣作為搜索氣體制成的氣密性檢測儀器。
氦質(zhì)譜儀檢漏儀通常用于電子組件的背壓檢測。在進(jìn)行泄漏檢測之前,用專門使用的加壓容器將氦氣加壓到試件中(壓力的大小由壓力和時(shí)間控制),然后取出試件,吹走表面以吸收氦氣,然后將其放置在專門使用的專門使用容器中。檢漏罐。泄漏檢測箱連接到泄漏檢測器的泄漏檢測端口,并排空泄漏檢測箱以執(zhí)行泄漏檢測。如果設(shè)備中存在泄漏,則被泄漏壓過的氦會(huì)釋放到泄漏檢測罐中到達(dá)質(zhì)譜儀管。用這種方法測得的泄漏率也是總泄漏率。將測試件連接到儀器的泄漏檢測端口以排空,并用裝滿氦氣的容器覆蓋測試件。如果測試件有泄漏,氦氣會(huì)通過泄漏進(jìn)入測試件,后到達(dá)質(zhì)譜儀管。檢測。測得的泄漏率是被測零件的總泄漏率。無法確定有多少泄漏以及每個(gè)泄漏的確切位置??梢钥闯?,鐘罩法是基于噴霧法的檢漏法。氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度,通常指儀器的可檢漏率。
怎么確定氦質(zhì)譜檢漏儀用于鍍膜設(shè)備的靈敏度?較佳工作條件。指被檢鍍膜設(shè)備部件的材料出氣很少,且沒有較大漏孔;檢漏裝置本身的參數(shù)調(diào)整到較佳工作狀態(tài)等。動(dòng)態(tài)檢漏。指不用累積法進(jìn)行檢漏,檢漏裝置本身的真空抽氣系統(tǒng)仍正常進(jìn)行抽真空,裝置的反應(yīng)時(shí)長小于3s,3s當(dāng)中的抽氣系統(tǒng)的時(shí)間常數(shù)是小于一秒的;較小可檢。指其信號(hào)是本底噪聲的兩倍;漏孔的漏率。指干燥空氣(100kPa的壓力)經(jīng)漏孔通向真空端(遠(yuǎn)遠(yuǎn)低于100kPa的壓力)的漏率。對氦分壓變化有反應(yīng)的氦質(zhì)譜檢漏儀,為表征這種反應(yīng)特性,較好給出檢漏裝置的較小可檢濃度,即濃度靈敏度。所謂檢漏裝置的“濃度靈敏度”,指處在工作壓力下(工作壓力一般為10?2Pa~10?3Pa)的質(zhì)譜室,使用該裝置可檢示的大氣中的較小氦濃度的變化。而鍍膜設(shè)備的氦質(zhì)譜檢漏儀中的“較小可檢濃度”則為信號(hào)與裝置噪聲比為一或二時(shí),當(dāng)中氦的濃度。氦質(zhì)譜檢漏儀適用于工業(yè)、分析研究、鍍膜市場等。溫州氦質(zhì)譜檢漏儀多少錢一臺(tái)
氦質(zhì)譜檢漏儀相比于傳統(tǒng)檢漏方法有哪些優(yōu)勢?江蘇模塊式氦質(zhì)譜檢漏儀報(bào)價(jià)
氦質(zhì)譜檢漏儀中氦質(zhì)譜檢漏系統(tǒng)的關(guān)鍵部件均為進(jìn)口,性能穩(wěn)定可靠。修長的體積,優(yōu)越的性能,適用于眾多行業(yè)。運(yùn)用了氦質(zhì)譜和逆擴(kuò)散原理,采用了原裝進(jìn)口分子泵、180°非均勻磁場和全自動(dòng)控制技術(shù),實(shí)現(xiàn)了自動(dòng)氦峰掃描、自動(dòng)調(diào)零、自動(dòng)校準(zhǔn)和自動(dòng)量程切換,具有檢測速度快、檢測靈敏度高、抗干擾能力強(qiáng)等特點(diǎn)。氦質(zhì)譜檢漏儀可以對具有內(nèi)腔的微電子或半導(dǎo)體器件封裝的氣密性進(jìn)行細(xì)檢漏。 此檢測方法使用的示蹤氣體選擇了氦氣,氦氣具有質(zhì)量數(shù)小、重量輕并且有滲透能力強(qiáng)的優(yōu)點(diǎn),達(dá)到了細(xì)檢漏的目的。氦質(zhì)譜檢漏儀特點(diǎn):1.檢測時(shí)間和響應(yīng)周期非常短,可以達(dá)到2s以內(nèi);2.檢測的介質(zhì)比較常用,只需壓縮空氣即可;3.多種大漏保護(hù)模式,充分保護(hù)離子源不被氧化和暴漏大氣時(shí)分子泵不被沖擊。江蘇模塊式氦質(zhì)譜檢漏儀報(bào)價(jià)
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