掃描電子顯微鏡(SEM)是一種介于透射電子顯微鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種觀察手段。其利用聚焦的很窄的高能電子束來掃描樣品,通過光束與物質(zhì)間的相互作用,來激發(fā)各種物理信息,對這些信息收集、放大、再成像以達(dá)到對物質(zhì)微觀形貌表征的目的。新式的掃描電子顯微鏡的分辨率可以達(dá)到1nm;放大倍數(shù)可以達(dá)到30萬倍及以上連續(xù)可調(diào);并且景深大,視野大,成像立體效果好。此外,掃描電子顯微鏡和其他分析儀器相結(jié)合,可以做到觀察微觀形貌的同時進(jìn)行物質(zhì)微區(qū)成分分析。掃描電子顯微鏡在巖土、石墨、陶瓷及納米材料等的研究上有普遍應(yīng)用。因此掃描電子顯微鏡在科學(xué)研究領(lǐng)域具有重大作用。掃描式電子顯微鏡主要用于觀察固體表面的形貌,也能與X射線衍射儀或電子能譜儀相結(jié)合。西藏桌上型電子顯微鏡電子顯微鏡報價多少錢
電子顯微鏡和光學(xué)顯微鏡的區(qū)別:照明源不同:電鏡所用的照明源是電子發(fā)出的電子流,而光鏡的照明源是可見光(日光或燈光),由于電子流的波長遠(yuǎn)短于光波波長,故電鏡的放大及分辨率地高于光鏡。透鏡不同:電鏡中起放大作用的物鏡是電磁透鏡(能在中心部位產(chǎn)生磁場的環(huán)形電磁線圈),而光鏡的物鏡則是玻璃磨制而成的光學(xué)透鏡。電鏡中的電磁透鏡共有三組,分別與光鏡中聚光鏡、物鏡和目鏡的功能相當(dāng)。分辨率:光學(xué)顯微鏡因為光的干涉與衍射作用,分辨率只能局限于02-05um之間。電子顯微鏡因為采用電子束作為光源,其分辨率可達(dá)到1-3nm之間,因此光學(xué)顯微鏡的組織觀察屬于微米級分析,電子顯微鏡的組織觀測屬于納米級分析。西藏桌上型電子顯微鏡電子顯微鏡報價多少錢電子顯微鏡采用全開門式設(shè)計,耐用性和靈活性更高。
電子顯微鏡由電子發(fā)射的電子束較高可達(dá)30keV,經(jīng)會聚透鏡、物鏡縮小和聚焦,在樣品表面形成一個具有一定能量、強度、斑點直徑的電子束。在掃描線圈的磁場作用下,入射電子束在樣品表面上按照一定的空間和時間順序做光柵式逐點掃描。由于入射電子與樣品之間的相互作用,將從樣品中激發(fā)出二次電子。由于二次電子收集極的作用,可將各個方向發(fā)射的二級電子匯集起來,再將加速極加速射到閃爍體上,轉(zhuǎn)變成光信號,經(jīng)過光導(dǎo)管到達(dá)光電倍增管,使光信號再轉(zhuǎn)變成電信號。這個電信號又經(jīng)視頻放大器放大并將其輸送至顯像管的柵極,調(diào)制顯像管的亮度。因而,再熒光屏上呈現(xiàn)一幅亮暗程度不同的、反映樣品表面形貌的二次電子象。
掃描電子顯微鏡可觀察厚試樣。其在觀察厚試樣時,能得到高的分辨率和較真實的形貌。掃描電子顯微的分辨率介于光學(xué)顯微鏡和透射電子顯微鏡之間。但在對厚塊試樣的觀察進(jìn)行比較時,因為在透射電子顯微鏡中還要采用復(fù)膜方法,而復(fù)膜的分辨率通常只能達(dá)到10nm,且觀察的不是試樣本身,因此,用掃描電子顯微鏡觀察厚塊試樣更有利,更能得到真實的試樣表面資料。可進(jìn)行從高倍到低倍的連續(xù)觀察。放大倍數(shù)的可變范圍很寬,且不用經(jīng)常對焦。掃描電子顯微鏡的放大倍數(shù)范圍很寬(從5到20萬倍連續(xù)可調(diào)),且一次聚焦好后即可從高倍到低倍,從低倍到高倍連續(xù)觀察,不用重新聚焦,這對進(jìn)行事故分析特別方便。掃描電子顯微鏡和其他分析儀器相結(jié)合,可以做到觀察微觀形貌的同時進(jìn)行物質(zhì)微區(qū)成分分析。
電子顯微鏡電子源是一個釋放自由電子的陰極,柵極,一個環(huán)狀加速電子的陽極構(gòu)成的。陰極和陽極之間的電壓差必須非常高,一般在數(shù)千伏到3百萬伏特之間。它能發(fā)射并形成速度均勻的電子束,所以加速電壓的穩(wěn)定度要求不低于萬分之一。樣品可以穩(wěn)定地放在樣品架上,此外往往還有可以用來改變樣品(如移動、轉(zhuǎn)動、加熱、降溫、拉長等)的裝置。探測器用來收集電子的信號或次級信號。真空裝置用以保障顯微鏡內(nèi)的真空狀態(tài),這樣電子在其路徑上不會被吸收或偏向,由機械真空泵、擴散泵和真空閥門等構(gòu)成,并通過抽氣管道與鏡筒相聯(lián)接。電源柜由高壓發(fā)生器、勵磁電流穩(wěn)流器和各種調(diào)節(jié)控制單元組成。掃描電鏡應(yīng)用在昆蟲方便主要是提高對其微小的辨別能力、提高分類水平。西藏桌上型電子顯微鏡電子顯微鏡報價多少錢
單就放大率而言,是指被觀察物體經(jīng)電子顯微鏡放大后,在同一方向上像的長度與物體實際長度的比值。西藏桌上型電子顯微鏡電子顯微鏡報價多少錢
掃描式電子顯微鏡的分辨率主要決定于樣品表面上電子束的直徑。放大倍數(shù)是顯像管上掃描幅度與樣品上掃描幅度之比,可從幾十倍連續(xù)地變化到幾十萬倍。掃描式電子顯微鏡不需要很薄的樣品;圖像有很強的立體感;能利用電子束與物質(zhì)相互作用而產(chǎn)生的次級電子、吸收電子和X射線等信息分析物質(zhì)成分。掃描電子顯微鏡的制造是依據(jù)電子與物質(zhì)的相互作用。當(dāng)一束高能的入射電子轟擊物質(zhì)表面時,被激發(fā)的區(qū)域?qū)a(chǎn)生二次電子、俄歇電子、特征x射線和連續(xù)譜X射線、背散射電子、透射電子,以及在可見、紫外、紅外光區(qū)域產(chǎn)生的電磁輻射。同時,也可產(chǎn)生電子-空穴對、晶格振動(聲子)、電子振蕩(等離子體)。西藏桌上型電子顯微鏡電子顯微鏡報價多少錢
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