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    輕型真空搬運(yùn)機(jī)的制作方法技術(shù)領(lǐng)域：本實(shí)用新型提供一種輕型真空搬運(yùn)機(jī)，屬于搬運(yùn)機(jī)的技術(shù)領(lǐng)域。背景技術(shù)：現(xiàn)有的搬運(yùn)機(jī)，不只只能適用于大型物體的搬運(yùn)，且結(jié)構(gòu)復(fù)雜，制造成本高。發(fā)明內(nèi)容為解決上述問(wèn)題，本實(shí)用新型提供一種適用于小型物體的搬運(yùn)，且結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、制造成本低的輕型真空搬運(yùn)機(jī)。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案為一種輕型真空搬運(yùn)機(jī)，包括立柱、支柱、旋臂、斜拉桿、真空泵、連接管、搬運(yùn)管、真空吸盤裝置；支柱包括套置在固定柱外壁上的旋轉(zhuǎn)軸套，固定柱固定在立柱的上端，旋臂一端直接與旋轉(zhuǎn)軸套固定連接，另一端則通過(guò)斜拉桿與旋轉(zhuǎn)軸套固定連接；連接管一端與真空泵連通，另一端與搬運(yùn)管連通，真空吸盤裝置安裝在搬運(yùn)管的底端，搬運(yùn)管滑動(dòng)連接安裝在旋臂上。作為上述方案的進(jìn)一步設(shè)置，所述固定柱通過(guò)上蓋和下蓋固定在立柱上。所述固定柱與旋轉(zhuǎn)軸套之間且由上而下依次安裝有并帽、墊圈、上軸承、下軸承。所述旋臂一端直接與旋轉(zhuǎn)軸套的下端固定連接，另一端則通過(guò)斜拉桿與旋轉(zhuǎn)軸套的上端固定連接。所述旋臂的下端面上開(kāi)設(shè)有導(dǎo)軌，搬運(yùn)管的頂端與導(dǎo)軌滑動(dòng)連接。所述導(dǎo)軌上還滑動(dòng)連接有數(shù)個(gè)掛鉤，靠近搬運(yùn)管端的連接管通過(guò)掛鉤安裝在旋臂上。棲霞區(qū)牛皮袋真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家！溧水區(qū)常見(jiàn)真空搬運(yùn)機(jī)原理

    本發(fā)明涉及搬運(yùn)系統(tǒng)以及搬運(yùn)方法。背景技術(shù)：在半導(dǎo)體制造工廠等制造工廠中，為了將收容半導(dǎo)體晶圓的foup或者收容中間掩模的中間掩模盒(reticlepod)等物品在處理裝置的裝載端口、保管部以及交接端口之間進(jìn)行搬運(yùn)，提出有使用沿著鋪設(shè)于頂棚的軌道行駛的高架搬運(yùn)車、和沿著與高架搬運(yùn)車的軌道地鋪設(shè)于地板面的軌道行駛的起重機(jī)的結(jié)構(gòu)(例如，參照文獻(xiàn)1)。文獻(xiàn)1:日本第5880693號(hào)公報(bào)文獻(xiàn)1中記載的高架搬運(yùn)車和起重機(jī)均能夠訪問(wèn)裝載端口、保管部以及交接端口，但由于在不同的軌道行駛，因此需要與高架搬運(yùn)車和起重機(jī)對(duì)應(yīng)地，分別設(shè)置頂棚的軌道和地板面的軌道。因此，存在不僅對(duì)軌道的設(shè)置花費(fèi)成本，需要用于鋪設(shè)各軌道的空間，而且需要使處理裝置或者保管部等的設(shè)置位置與兩個(gè)軌道對(duì)應(yīng)，因此對(duì)處理裝置等的布局產(chǎn)生限制的問(wèn)題。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：本發(fā)明的目的在于提供能夠通過(guò)將供高架搬運(yùn)車和起重機(jī)行駛的軌道共用化而減少軌道的設(shè)置成本，并且分擔(dān)高架搬運(yùn)車與起重機(jī)的作用，由此高效地搬運(yùn)物品的搬運(yùn)系統(tǒng)以及搬運(yùn)方法。本發(fā)明所涉及的搬運(yùn)系統(tǒng)具備：第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道，其從第1處理裝置的裝載端口的正上方錯(cuò)開(kāi)并且沿著第1處理裝置的裝載端口設(shè)置；第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道。蘇州常見(jiàn)真空搬運(yùn)機(jī)原理雨花臺(tái)區(qū)常見(jiàn)真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家！

    并在第二處理裝置tl2的裝載端口lp、第二保管部20b、以及第二交接端口30b之間搬運(yùn)物品2。例如，在通過(guò)高架搬運(yùn)車50將物品2載置于第1交接端口30a或者第二交接端口30b的情況下，第1起重機(jī)40a能夠移動(dòng)至第1交接端口30a而通過(guò)第1移送部44a(參照?qǐng)D4)接收物品2，第二起重機(jī)40b能夠移動(dòng)至第二交接端口30b而通過(guò)第二移送部44b(參照?qǐng)D4)接收物品2。其后，第1起重機(jī)40a能夠行駛至第1處理裝置tl1的裝載端口lp或者第1保管部20a，將物品2載置于第1處理裝置tl1的裝載端口lp或者第1保管部20a。另外，第1起重機(jī)40a能夠通過(guò)第1移送部44a接收被第1保管部20a保管的物品2，行駛至第1處理裝置tl1的裝載端口lp或者第1交接端口30a，通過(guò)第1移送部44a將物品2載置于第1處理裝置tl1的裝載端口lp或者第1交接端口30a。第二起重機(jī)40b能夠行駛至第二處理裝置tl2的裝載端口lp或者第二保管部20b，將物品2載置于第二處理裝置tl2的裝載端口lp或者第二保管部20b。另外，第二起重機(jī)40b能夠通過(guò)第二移送部44b接收被第二保管部20b保管的物品2，行駛至第二處理裝置tl2的裝載端口lp或者第二交接端口30b，通過(guò)第二移送部44b將物品2載置于第二處理裝置tl2的裝載端口lp或者第二交接端口30b。另外。

    并且沿著裝載端口lp設(shè)置。第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11是以包圍第1保管區(qū)域sa1的方式配置為環(huán)狀的環(huán)繞軌道，第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12是以包圍第二保管區(qū)域sa2的方式配置為環(huán)狀的環(huán)繞軌道，但并不限定于該結(jié)構(gòu)。第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11具有直線部11a和循環(huán)部11b。直線部11a在裝載端口lp的正上方沿著多個(gè)裝載端口lp在y方向上配置。直線部11a在俯視下分別配置于第1保管區(qū)域sa1與隔著第1保管區(qū)域sa1對(duì)置配置的多個(gè)裝載端口lp之間。循環(huán)部11b包含曲線部且配置于y方向的兩端，將兩個(gè)直線部11a彼此連接。第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12與第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11相同地，具有直線部12a和循環(huán)部12b。直線部12a在裝載端口lp的正上方沿著裝載端口lp與y方向平行地配置。直線部12a在俯視下分別配置于第二保管區(qū)域sa2與隔著第二保管區(qū)域sa2對(duì)置配置的多個(gè)裝載端口lp之間。循環(huán)部12b包含曲線部且配置于y方向的兩端，將兩個(gè)直線部12a彼此連接。此外，在本實(shí)施方式中，示出第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11與第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12是同一形狀或者大致同一形狀的例子，但第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11與第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12也可以是不同形狀。第1區(qū)段間頂棚軌道13和第二區(qū)段間頂棚軌道14被設(shè)置為分別沿著x方向呈直線狀延伸。溧水區(qū)米袋真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家！

    使保持部49上升，由此將物品2懸掛保持。在第1、第二移送部44a、44b接收物品2時(shí)，將臂部48伸長(zhǎng)而使保持部49配置于物品2的上方，在使凸緣部2a保持于爪部49a的狀態(tài)下使第1、第二升降臺(tái)43a、43b上升，由此利用保持部49將物品2提起。接著，第1、第二移送部44a、44b維持利用保持部49保持物品2的狀態(tài)地收縮臂部48，由此將保持有物品2的保持部49配置于第1、第二升降臺(tái)43a、43b的下方。此外，第1、第二移送部44a、44b并不限定于上述的結(jié)構(gòu)。例如，也可以是保持部49載置物品2的結(jié)構(gòu)，也可以是保持部49把持且保持物品2的側(cè)面的結(jié)構(gòu)。第1、第二升降驅(qū)動(dòng)部45a、45b例如使用升降機(jī)等，沿著第1、第二桅桿42a、42b使第1、第二升降臺(tái)43a、43b升降。第1、第二升降驅(qū)動(dòng)部45a、45b具備懸掛部件45a和驅(qū)動(dòng)部45b。懸掛部件45a例如是帶狀物或者線材等，第1、第二升降臺(tái)43a、43b通過(guò)該懸掛部件45a從上部支承體47懸掛。驅(qū)動(dòng)部45b設(shè)置于上部支承體，進(jìn)行懸掛部件45a的抽出、卷繞。若驅(qū)動(dòng)部45b將懸掛部件抽出，則第1、第二升降臺(tái)43a、43b被第1、第二桅桿42a、42b引導(dǎo)而下降。另外，若驅(qū)動(dòng)部45b卷繞懸掛部件45a，則第1、第二升降臺(tái)43a、43b被第1、第二桅桿42a、42b引導(dǎo)而上升。浦口區(qū)米袋真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家！溧水區(qū)常見(jiàn)真空搬運(yùn)機(jī)原理

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    但本發(fā)明并不限定于上述的說(shuō)明，在不脫離本發(fā)明的主旨的范圍內(nèi)能夠進(jìn)行各種變更。例如，在上述的搬運(yùn)系統(tǒng)100中，也可以在高架搬運(yùn)車50的移動(dòng)路徑中配置儲(chǔ)料機(jī)(自動(dòng)倉(cāng)庫(kù))等。儲(chǔ)料機(jī)例如可以設(shè)置于第1區(qū)段間頂棚軌道13和第二區(qū)段間頂棚軌道14中的任一方或者雙方。高架搬運(yùn)車50可以能夠針對(duì)該儲(chǔ)料機(jī)的交接端口進(jìn)行物品2的交接，例如，能夠在儲(chǔ)料機(jī)與第1、第二交接端口30a、30b之間搬運(yùn)物品2。另外，在法律法規(guī)允許的范圍內(nèi)，引用作為日本申請(qǐng)的日本特愿2017-128570、和在本說(shuō)明書(shū)中引用的全部文獻(xiàn)的內(nèi)容作為本文記載的一部分。附圖標(biāo)記說(shuō)明sa1…第1保管區(qū)域；sa2…第二保管區(qū)域；ta1…第1裝置區(qū)域；ta2…第二裝置區(qū)域；lp…裝載端口；tl1…第1處理裝置；tl2…第二處理裝置；2…物品；2a…凸緣部；10…頂棚軌道；11…第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道；12…第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道；13…第1區(qū)段間頂棚軌道；14…第二區(qū)段間頂棚軌道；15…第1連接軌道；16…第二連接軌道；20a…第1保管部；20b…第二保管部；30a…第1交接端口；30b…第二交接端口；40a…第1起重機(jī)；40b…第二起重機(jī)；41a…第1行駛部；41b…第二行駛部；42a…第1桅桿；42b…第二桅桿；43a…第1升降臺(tái)；43b…第二升降臺(tái)。溧水區(qū)常見(jiàn)真空搬運(yùn)機(jī)原理